200 mm’lik hatlarda, tek bir nemli işlem bile verimi olumsuz etkileyebilir. Temizleme işlemlerinden sonra kalan su, fotoresist üzerinde lekeler...

Üretim alanında bilindiği üzere, fırın sıcaklığında 0,2°C’lik bir değişiklik bile foto direnç profilinin standartların dışına çıkmasına neden olur....