熱の漏れを防ぐ：ウェーハを移動させるためのより良い方法
半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その大変さがわかるでしょう。ウェーハを移動させている間も、適切な温度を維持し続けるのは非常に難しいのです。本当に頭痛の種です。
多くの人々は従来の対流式ヒーターを使っていますが、それは労力の無駄に過ぎません。私たちは、赤外線ヒーターを輸送用カートに直接取り付けるようにしています。これは単に温度を安定させるだけでなく、通常「グリーンファクトリー」の目標を達成する上で大きな障害となるエネルギーの無駄遣いを防ぐためでもあります。
なぜ赤外線ヒーターが有効なのか
通常のヒーターの仕組みを考えてみてください。まず空気が温められ、その後その空気がウェーハを温めるのです。しかし、これは遅く、非効率的で、電力の無駄遣いにもなります。
一方、赤外線ヒーターは異なります。短波発光体を使って、熱を直接ウェーハに送り込みます。中間媒体が必要ないのです。そのため、カートの周囲の空気は冷たいままであり、HVACシステムも余計な労力を使わずに済みます。
詳細と注意点
使用する装置は、運搬する荷物の重さに応じて選ばれます。高出力の石英ランプを使えば、移動中も安定した温度を維持できます。最良の点は、すぐに加熱できることです。カートが実際に動いている時だけヒーターを稼働させればよいのです。
しかし、これは魔法ではありません。何かしらの代償があります。
これらのランプは非常に熱くなります。もし適切な保護対策を怠ったら、カートの筐体やセンサーが損傷してしまう可能性があります。出力や対象物までの距離には注意が必要です。そうしないと、熱の集中によって全てが台無しになってしまいます。
二酸化炭素排出量と電気代の削減
結局のところ、この方法によって、1つのウェーハあたりの電力消費量が減少します。いくつかのカートを移動させるだけのために部屋全体を温める必要がなくなるので、エネルギー消費量が大幅に削減されます。
これは Win-Win の状態です。温度をより正確に制御できるだけでなく、電気代も実際に減少します。もっと高度な機能が欲しければ、スマートコントローラーを接続すればよいのです。そうすれば、カートの位置に応じて自動的に電力が調整され、無駄なエネルギーの消費を最小限に抑えることができます。