この2.5D/3Dパッケージング用ヒーターの特徴は、温度を変数として考慮しなくて済む点です。フォトレジストの焼成プロファイルも規定値内に収まり、TSVの充填やアンダーフィルの硬化も所定の状態になります。また、熱勾配が制御されるため、ウェーハ全体での温度バラツキは±0.1°C程度に抑えられます。設定...

製造現場では、2℃程度のわずかな温度変動だけでもフォトレジストの特性が変化してしまいます。また、エッジ部分で過度に高温になると、汚れが残ってしまうことがあります。IC用の小型赤外線乾燥機は、単なる便利な装置ではなく、工程の重要な要素です。私たちは、リソグラフィーやパッケージング工程において熱履歴の...

最初の寒波が屋外レストランに襲来すると、すぐにその影響が現れます。予約はなくなり、お客さんも入店をためらいます。テーブルは空っぽのままで、サービスの進行も遅くなります。私たちは、このような状況を未然に防ぐために、遠赤外線ヒーターを開発しました。これにより、空気ではなく、人や家具を直接温めることがで...

200mmウェーハの処理において、1回の湿式処理だけで生産性が損なわれることがあります。洗浄後に残った水分はフォトレジスト上に水痕として現れ、その後の軟質ベイク処理によって重要な寸法制御が不安定になります。これはオペレーターの手動調整では対処できず、シフトを重ねても同じように機能する乾燥モジュール...

バスルーム内は蒸気で覆われており、その湿った空気のせいで、暖かさが快適さから安全上の問題に変わってしまいます。通常のヒーターでは、このような環境では機能しなくなってしまいます。一方、低出力の赤外線ヒーターは、電気的安全性を怠ることなく、乾燥した熱を効率的に供給するように設計されています。 この製品...

製造現場では、よく知られている通り、焼成温度が0.2℃だけ変動しても、フォトレジストの特性は規定値から外れてしまいます。従来のホットプレートでは、ウェハ表面の温度分布の不均一さを解消するのが難しく、そのため制御範囲を厳しく設定し、常に温度の安定を図らなければなりません。私たちは、このような不安定性...

卸売業者は、話題性ではなく、すぐに売れる製品、問題なく動作する製品、すぐに使用できる製品を求めています。だからこそ、当社のCE認証を受けた赤外線式のフリースタンディング暖房機は、世界中の取引所や倉庫で注目されているのです。この製品によって、快適さが再現可能なものとなり、また、購入者の信頼も得られ、...

製造現場では、状況がどれだけ急速に悪化するかわかりません。たとえわずか0.5度程度の温度変動があっても、重要な寸法制御が乱れ、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。24時間365日稼働するように設定されているラインでは、ヒーターの故障は単に1台の装置を使えなくなるだけでなく、リソグラフィ...

夜になって寒くなってきたとき、欲しいのはすぐに暖かさです。静かに、面倒な手間もなく。店頭では多くの室内用ヒーターが魅力的に見えますが、実際に使い始めるとメンテナンスが面倒になります。私たちは、長期間快適に使えるよう、そしてわずか数分でメンテナンスができるように、この赤外線ヒーターを設計しました。...

犬が暖炉のそばで落ち着いている様子や、猫がヒートテーブルの近くで丸くなっている様子を見てみましょう。安心感というのは贅沢品ではなく、努力によって得られるものです。実際の「ヒーロー」というのは、単に温かさだけではありません。それは、赤外線装置の中にある密封された部分です。 多くのヒーターでは、配線が...

ファブの現場では、温度変動は些細な問題ではありません。フォトレジストのソフトベークやハードベーク時に5℃もの温度変動があると、線幅の制御が失われてしまいます。また、RTP時の不均一な温度上昇は、接合部の形状を崩してしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、RTP用のハロゲンランプを特別...

リソグラフィーの工程では、ご存知の通り、わずか1～2度の温度変動でも、重要な寸法管理が崩れてしまいます。また、スカムが発生することもありますが、そんな時には誰も対処する時間がありません。一方で、ウェーハは次々と処理されていき、時間が経つにつれて熱量が消費されていきます。私たちは、このような状況を解...

空気をただ温めて工房や寒い隅を暖めるわけではありません。温めるのは人、作業、必要な場所です。これがUSB電源の赤外線ヒーターの本質であり、熱が空間全体に拡散するのではなく、当たった部分に直接届きます。 技術的に重要な点 赤外線の暖かさは放射熱であり、太陽熱に似ていますが、より制御しやすく快適です。...

ファブフロアでは、炉の熱ドリフトは単なる表示上の数値ではない。ウェーハ全体にわたる重要寸法の変動や、ドーピングプロファイルの乱れとして現れる。一つのホットゾーンの異常が原因で、フォトレジストのベークばらつきやフィルム応力が生じ、同じ条件での再現性が確保できず、歩留まりの低下を追いかける羽目になる。...

暖房の変化 暖房はかつては単純でした—ただ寒さを防ぐだけ。今では、室内外での暖かさをどのように保ち、周囲を乱さずに生活するかが重要です。本当の問題は、単に暖かさを保つことではなく、すぐに感じられる快適さを提供しながら、クリーンな生活に合った方法でそれを行うことです。これが私たちのクォーツ電気ヒータ...