Wafer Trocknungsmodul 200 mm
Auf einer 200-mm-Linie kann bereits ein einziger feuchter Bearbeitungsschritt dazu führen, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Das...
Gebietsbezogener Infrarot Heizmodul
In der Fertigungshalle gilt folgendes Prinzip: Schon eine Abweichung von 0,2 °C in der Backtemperatur führt dazu, dass das Profil des Fotorezystors...