Auf einer 200-mm-Linie kann bereits ein einziger feuchter Bearbeitungsschritt dazu führen, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Das nach der Reinigung zurückbleibende Wasser hinterlässt Spuren auf dem Photoresist. Zudem führt eine zu sanfte Trocknung dazu, dass die Kontrolle der kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Man kann das Problem nicht einfach mit Anpassungen durch den Bediener beheben – es wird ein Trockenungsmodul benötigt, das stets zuverlässig funktioniert, unabhängig von den verschiedenen Produktionszyklen.
Was wirklich wichtig ist
Unser Trockenungsmodul für 200-mm-Wafern basiert auf einer kontrollierten Wärmeabgabe sowie einer effektiven Kontrolle von Verunreinigungen. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche des Wafer wird bei ±0,1°C gehalten. Dadurch bleiben die Trocknungsparameter von Charge zu Charge konstant. Das System eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 und ist so konzipiert, dass keine Partikel entstehen – was wiederum den hohen Anforderungen an die Partikelfallzahlen in der Lithografie entspricht. Bei 24/7-Betrieb soll es zu keiner unplanmäßigen Stillstand kommen; die Lebensdauer des Moduls beträgt Tausende von Stunden. Die Wiederholgenauigkeit ist selbstverständlich – sie gilt als Grundvoraussetzung.
Warum dieses Modul geeignet ist
Dieses Modul passt perfekt in die 200-mm-Verarbeitungskette – von der Trocknung nach der Reinigung bis hin zu den Schritten zur Behandlung des Photoresists. Eine präzise Temperaturregelung verhindert Fehler im Photoresist, die durch Temperaturschwankungen entstehen können. Zudem sorgt eine konstante Trocknung dafür, dass keine Unregelmäßigkeiten auftreten, die wiederum zu Nacharbeiten führen würden. Das Ergebnis: weniger Ausschuss, höhere Maschinenauslastung sowie stabile Werte der kritischen Abmessungen. Wir halten den Energieverbrauch unter Kontrolle, ohne dabei die Genauigkeit der Einstellungen zu gefährden – dadurch bleiben die Betriebskosten vorhersehbar.
Praktische Details
Die Installation muss den Anforderungen bezüglich der Abführung von Abgasen sowie der Vibrationen entsprechen. Das Modul funktioniert optimal, wenn es an eine saubere, stabile Stromquelle angeschlossen ist. Durch regelmäßige Wartungsmaßnahmen wie Filterprüfungen und Kalibrierung der Sensoren bleibt die Leistung des Moduls über einen langen Zeitraum konstant. Planen Sie daher ausreichend Zeit für die Wartung ein – auch wenn diese nur kurz ist, ist sie dennoch unverzichtbar.