Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum die goldbeschichteten Doppelröhren tatsächlich funktionieren
Beim Erhitzen von Siliziumwafeln zählt jeder einzelne Watt. Wenn man Standardquarzlampen verwendet, wirft man im Grunde genommen Energie weg. Diese Lampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – das bedeutet, dass ein großer Teil der Energie dazu dient, die Wände des Ofens zu erwärmen, anstatt die Wafeln selbst zu erwärmen.
Das ist Verschwendung. Wir haben jedoch eine Lösung gefunden, um das zu verhindern.
Die Magie des Golds
Wir legten eine dünne Schicht Gold auf die Rückseite der Lampe. Das klingt zwar luxuriös, aber es handelt sich dabei eigentlich nur um Physik. Gold reflektiert Infrarotlicht viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl.
Man kann es sich wie einen thermischen Spiegel vorstellen: Anstatt dass die Wärme in den Raum abgestrahlt wird, trifft sie auf die Goldschicht und wird um 180 Grad zurück zur Wafer gelenkt. Dadurch entsteht eine viel höhere Wärmestrahlung. Das Beste daran: Man benötigt keine höhere Stromversorgung.
Mehr Leistung, weniger Platz
Zudem gibt es noch die Doppelröhrenkonstruktion. Das Ziel war einfach: Mehr Heizelemente in einem kleineren Raum unterbringen.
Durch die Verdopplung der Oberfläche der Filamente können wir die Gesamtleistung erhöhen, ohne dass die Lampe zu groß für das Gehäuse wird. Dadurch entsteht eine viel höhere Wärmedichte. Im praktischen Einsatz bedeutet das kurze Aufwärmzeiten sowie eine bessere Temperaturregulierung auf der gesamten Waferoberfläche.
Der Haken (denn es gibt immer einen)
Präzision kostet Geld. Obwohl die Goldbeschichtung die Effizienz erhöht, ändert sie auch die Art und Weise, wie die Lampe arbeitet. Die Röhren werden auf der Seite der Filamente viel heißer.
Sie müssen Ihre Kühlventilatoren sowie Kühler genau überprüfen. Wenn die Luftzirkulation schwach ist, können Ihre Verbindungen beschädigt werden – oder sogar die Befestigungsrahmen verformen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlung mit der hohen Hitze zurechtkommt.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Geräte so konstruiert, dass sie als Ersatz für Ihre herkömmlichen IR-Lampen dienen können. Sie müssen also nicht Ihre ganze Anlage neu aufbauen. Wir haben industrietaugliche Verbindungen verwendet, damit Sie keine Probleme mit Funkenbildung unter hoher Belastung haben.
Verbinden Sie die Geräte einfach mit einem PID-Controller. Dadurch erhalten Sie die notwendige stabile Temperaturkontrolle, um die Herstellung von Halbleitern reibungslos durchzuführen.