In der Fertigungshalle ist eine Temperaturabweichung keine unbedeutende Kleinigkeit. Eine Abweichung von 5°C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs kann dazu führen, dass die Kontrolle über die Dicke der Schichtgrenzen verloren geht. Zudem kann eine ungleichmäßige Temperaturverteilung im RTP-Prozess dazu führen, dass die Profile der Schichtgrenzen beeinträchtigt werden. Wir haben unsere Halogenlampen so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten vermieden werden.
Was wirklich wichtig ist
Diese Lampen verwenden Halogenemitter mit kurzer Wellenlänge in einem Quarzkörper – dadurch wird eine schnelle und effiziente Erwärmung erreicht. Die entscheidende Eigenschaft dieser Lampen ist die thermische Gleichmäßigkeit: ±0,1°C über die gesamte Fläche der Waferoberfläche – gemessen direkt vor Ort, nicht geschätzt. Die Kompatibilität mit Reinraumumgebungen ist ebenfalls gewährleistet: Materialien der Klasse 1–100, abgedichtete Schnittstellen sowie eine Konstruktion, die das Ausgasen minimiert. Das Ergebnis ist eine vollständige Vermeidung von Partikeln – somit wird die Produktqualität nicht durch thermische Prozesse beeinträchtigt.
Warum das bei der Lithografie und beim Einsatz von Fotoleisten wichtig ist
Die Temperatur bestimmt die kritischen Abmessungen der Strukturen. Mit einer Kontrolle von ±0,1°C bleiben die Profile beim Weich- und Hartbrennvorgang innerhalb der vorgegebenen Grenzen – auch bei unterschiedlichen Chargen. Im RTP-Prozess sorgt die schnelle Temperaturerhöhung sowie die gute Gleichmäßigkeit dafür, dass die empfindlichen Schichten geschützt werden. Dadurch entstehen genauere Ergebnisse, weniger Nacharbeiten und stabile Zykluszeiten. Auch die Effizienz spielt eine Rolle – die Strahlungsübertragung sowie präzise Steuerung der Leistungsfaktoren tragen dazu bei, den Energieverbrauch zu senken.
Was bei der Installation beachtet werden muss
Achten Sie auf den Kühlfluss, die Polarität sowie den Montagezug. Nur so bleibt die Abdichtung intakt und die optische Ausrichtung richtig. Die Lampen funktionieren in standardmäßigen RTP-Kammern – doch die Geometrie des Reflektors muss zur Struktur der Heizzone passen. Planen Sie außerdem eine Kalibrierung nach 2.000 Stunden ein. Der Leistungstrend ist zwar gering, aber vorhanden. Wir weisen darauf hin und planen entsprechende Maßnahmen ein.