In der Fertigungshalle kann bereits eine leichte Temperaturänderung von 2°C dazu führen, dass sich das Profil des Fotoleitmittels verändert. Eine zu hohe Temperatur an den Rändern kann wiederum dazu führen, dass sich Schichten auf dem Wafer bilden. Ein kompakter Infrarottrockner für ICs ist keine Luxusausstattung – er ist vielmehr ein unverzichtbares Werkzeug für den Prozess. Wir haben diesen Trockner entwickelt, um eine konstante Temperatur im Rahmen der Lithografie- und Verpackungsprozesse zu gewährleisten – schließlich zählt in diesem Bereich jeder Wafer.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Nahinfrarot-Emittoren, die für eine schnelle, volumetrische Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit geeignet sind. Die Temperaturgleichmäßigkeit über dem ganzen Wafer bleibt dabei bei ±0,1°C – die Genauigkeit der Einstelltemperatur liegt bei ±0,5°C. Dadurch bleiben die Profile des Fotoleitmittels von Charge zu Charge konstant. Der Trockner eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100; er verfügt über einen luftstromkontrollierten Luftweg sowie Materialien, die keinerlei Partikel freisetzen. Er kann 24/7 betrieben werden – die durchschnittliche Betriebszeit beträgt mehr als 20.000 Stunden, ohne dass es zu unplanmäßigen Stillständen kommt. Die Abmessungen des Trockners betragen 300 mm × 200 mm × 150 mm. Er funktioniert mit 24 VDC oder 48 VDC und verfügt über Standardanschlüsse, die in bestehende Anlagen integriert werden können.
Warum er in den Produktionslinien funktioniert
Man benötigt Wärme, die schnell wirkt – ohne dass es zu Überschüssen kommt. Nahinfrarotstrahlung ermöglicht eine schnelle Erwärmung bei gleichzeitig präziser Steuerung. Dadurch verkürzt sich die Trockenzeit und die Produktivität steigt. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Strahlung direkt auf den Wafer und das Substrat wirkt – nicht auf die Wände der Kammer. Bei der Verarbeitung von Fotoleitmitteln bedeutet das eine genauere Kontrolle der kritischen Abmessungen sowie weniger Nachbearbeitungen. Im Bereich der Verpackung trocknet der Trockner den Unterfüllstoff aus und entfernt Feuchtigkeit – ohne dass dabei Verformungen entstehen. Die Kompatibilität mit Reinräumen sorgt dafür, dass die Partikelzahl niedrig bleibt – genau das, was moderne Produktionsverfahren erfordern.
Ein paar praktische Hinweise
Der Trockner benötigt eine stabile, gefilterte Stromversorgung sowie einen sauberen, trockenen Luftstrom, damit das optische Fenster frei bleibt. Die Aufwärmzeit ist kurz – doch die Trocknung sollte erst nach einer Stabilisierungszeit von 10 Minuten beginnen. Der Trockner ist zwar kompakt, doch es müssen dennoch ausreichende Abstände um die Emittierzonen herum vorhanden sein, um Sicherheitsfunktionen und die Entlüftung zu gewährleisten. Passen Sie das Spektrum des Emitters an Ihr Fotoleitmittel sowie Ihr Substrat an – unser Anwendungsteam kann Ihnen dabei helfen, den optimalen Prozessablauf festzulegen.