为什么超高纯度红外固化技术是制造无铅芯片的理想选择
在制造半导体时，最不愿看到的就是有杂质混入产品中，从而导致整批产品报废。这无疑是一场灾难。因此，我们选择使用超高纯度红外灯。
由于这类灯泡不需要依赖化学溶剂或燃烧气体，因此它们能够直接对基板进行加热。这样一来，就无需遵循那些复杂的“无铅”和“环保”标准了。
热量传递的方式
大多数人认为，加热方式就是让空气升温，然后希望一切正常。但超高纯度红外灯则有所不同——它们利用短波红外辐射直接照射基板。这就好比在寒冷的日子里，阳光照射在皮肤上一样：虽然空气仍然很冷，但你立刻就能感觉到热量。
因为这种加热方式是通过光子来传递能量的，所以不会造成晶圆的交叉污染。此外，其加热速度也非常快，无需等待漫长的时间，从而节省了大量电能。
关于材料的选择
我们不会使用普通的玻璃，因为在这种高强度的工况下，普通玻璃要么会释放气体，要么会破裂。因此，我们会使用高纯度的合成石英。
灯丝的参数也经过精心调节，以确保其在正确的时间释放出适当的光谱能量，从而避免烧坏晶圆。此外，我们还会添加特殊涂层来调整波长，这样热量就能顺利进入光刻胶层，而不会损坏硅基材。当然，必须确保灯光的峰值发射频率与所使用的化学物质相匹配。
需要注意的事项
这些高功率灯泡会产生大量热量，因此，电源和冷却系统必须能够承受这样的负荷。如果冷却系统不够强大，那么灯泡的寿命就会大幅缩短。在将这类灯泡安装在高密度阵列中之前，务必仔细检查其通风情况。
好消息是，这类灯泡可以替代那些老旧、效率低下的加热元件。这样可以减少燃气系统的碳排放，保持工作环境的清洁，同时还能加快生产流程。