防止清洗站变成“烤箱”
如果你曾经在半导体清洗站中使用过普通的红外灯，那你就知道会有什么问题了。打开设备外壳后，简直就像打开了一个已经预热的烤箱——内壁的温度极高，甚至可能烫伤操作人员。
这真是糟糕透顶的情况。普通红外灯会将热量向各个方向散发，既浪费能源，还会让设备变成巨大的散热器。我们找到了更好的解决方案：定向红外技术。
热量到底去了哪里？
想象一下普通的灯管，它会把热量向360度范围内散发。但在清洗过程中，我们并不关心墙壁的情况，只需确保热量能准确作用于晶圆上即可。
我们使用特殊的反射器和涂层发射器来集中热量。这样一来，热量就不会四处散开，而是准确地集中在需要加热的位置。这样就能保持设备外壳的低温状态。此外，也就无需再花费大量资金购买大型冷却风扇或厚重的隔热材料来防止设备过热了。
如何处理潮湿问题
清洗站里到处都是水，湿度非常高。这样的环境对电子元件来说是个灾难——它会侵蚀连接点，还会导致石英管开裂。为了解决这个问题，我们使用了高强度的防水密封件以及加固过的端盖。
如果有一丁点儿水蒸气进入灯丝室，那么灯就会损坏。所以，必须使用能够承受持续喷溅的水分的密封件，这样才能避免灯的过早损坏。
存在的缺陷及解决办法
不过，这种技术也有其缺点。当所有能量都被集中到一条狭窄的光束中时，目标点的温度会急剧上升。虽然设备外壳不会受到影响，但待处理的工件所承受的热应力却会大大增加。因此，不能简单地“设置好参数后就不管了”。你需要调整PID控制器，以避免温度超出设定范围。
如果使用过高功率的灯泡，就有可能烧毁基板。我的建议是：搭配高精度热电偶一起使用。只有这样，才能确保整个处理过程稳定，同时保护好零件不受损害。