На лінії обробки пластин діаметром 300 мм сушарка є не просто зручним доповненням, а необхідним елементом. Це остання стадія термічної обробки перед тим, як пластина потрапляє на подальшу обробку. Навіть кілька градусів нерівномірності температури під час сушіння фотолейку чи пошкодження лампи через її старіння можуть призвести до того, що продукція буде викинута як бракована. Ми розробили нашу лампу для сушіння пластин з урахуванням однієї основної вимоги – зберігати температуру поверхні пластини в межах ±0,1°C без жодних забруднень.
Що є важливим у конструкції лампи
Ми використовуємо випромінювач короткохвильового інфрачервоного світла, який забезпечує швидке та точне нагрівання. Це дозволяє температурі швидко досягати заданого рівня без затримок. Оптимізоване для роботи з пластинами діаметром 300 мм кварцове скло та геометрія відбивачів забезпечують рівномірний розподіл тепла по всій поверхні пластини, що запобігає відхиленням температури в різних частинах пластини. Система сумісна з умовами чистої кімнати – використовуються матеріали класу 1–100 та спеціальні ущільнювачі. Крім того, система розроблена так, щоб не створювати жодних частинок під час роботи. Завдяки контролю в замкнутому циклі результати обробки залишаються стабільними, що дозволяє отримувати однакову якість продукції на кожній пластині, незалежно від змін часу доби.
Чому це важливо для обробки фотолейку
Температура сушіння безпосередньо впливає на процес видалення розчинників, ступінь напруги в плівці та, в кінцевому підсумку, на контроль критичних розмірів пластини. Лампа забезпечує стабільні умови сушіння, що значно скорочує кількість необхідних корекцій та підвищує якість продукції. Швидка реакція лампи дозволяє скоротити час обробки без перевищення значень температури. Низька теплова маса лампи дозволяє економити енергію. Таким чином, можна досягти стабільних результатів при однакових умовах обробки, з меншою кількістю аварій, меншою кількістю обслуговування та меншою кількістю бракованої продукції.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Ця лампа призначена для роботи з пластинами діаметром 300 мм та для інтеграції в стандартні умови чистої кімнати. Однак механічні елементи з’єднання та системи живлення, охолодження та відведення повітря повинні бути правильно налаштовані під час встановлення. Стабільність роботи лампи залежить від якісного електроживлення та стабільної температури води для охолодження. Тож під час налаштування необхідно провести перевірку на повній навантаженні. Виділіть один день для інтеграції лампи, а потім налаштуйте її відповідно до ваших технологічних вимог.