На поверхні, де відбувається процес літографії, все йде так: при помірній температурі навіть незначні зміни можуть призвести до порушення контролю за критичними розмірами. З’являється плівка на поверхні матеріалу, а у нас немає часу на її усунення. Тим часом пластини поступово нагріваються, що призводить до перевищення допустимих значень температури. Ми створили спеціальні лампи для нагріву фотополімеру, щоб уникнути подібних проблем.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо галогенні кварцові лампи з випромінюванням у діапазоні НІР; енергія потрапляє безпосередньо в фотополімер. Це дозволяє контролювати температуру з точністю до 0,1°C на всій площі пластини розміром 300 мм. Система працює в чистих приміщеннях класу 1–100, і не створює жодних частинок – завдяки постійному моніторингу та конструкції з низьким рівнем випаровування. Повторюваність результатів зберігається незалежно від серій, змінених параметрів чи віку ламп. На великих лініях виробництва система працює 24/7 без перерв.
Чому це працює як при помірному, так і при інтенсивному нагріванні? Просто: точність температури визначає характеристики фотополімеру, його адгезію та селективність процесу етчингу. Лампи скорочують час нагрівання, тож кількість дефектів зменшується, а ширина продукту залишається стабільною. Використання енергії також зменшується, оскільки тепло потрапляє саме в фотополімер, а не в приміщення. Також збільшується термін служби ламп, оскільки їх конструкція усуває проблеми, пов’язані з надмірним нагріванням. Результатом є вищий рівень виробництва, менше необхідності у корекціях та можливість планування часу виконання завдань.
Ось кілька речей, які потрібно враховувати: ці лампи потребують чистого, сухого повітря чи азоту для уникнення конденсату на кварцовій оболонці та для збереження спектральної стабільності. Вони можуть взаємодіяти зі стандартними пристроями виробника, але їх інтеграція має відповідати точній тепловій ємності пристрою та геометрії станції нагріву. Під час налаштування необхідно швидко скоригувати час нагрівання, щоб досягти бажаної точності.