На лінії з діаметром 200 мм один етап обробки у вологих умовах може значно погіршити якість продукції. Вода, що залишається після очищення, створює „водяні сліди“ на фотополімері; крім того, процес сушіння при низьких температурах призводить до відхилень у контролі критичних розмірів. Ці проблеми не можна вирішити шляхом корекцій, які робить оператор – потрібен модуль сушіння, який буде функціонувати стабільно протягом усього часу роботи.
Що є важливим у конструкції модуля
Наш модуль сушіння для пластин діаметром 200 мм базується на контрольованому тепловому впливі та контролі забруднень. Рівновага температури по всій поверхні пластини підтримується на рівні ±0,1°C, тож параметри сушіння залишаються стабільними від партії до партії. Система підходить для використання в чистих приміщеннях класів 1–100 та розроблена так, щоб не створювати жодних частинок, що є важливим для забезпечення високої якості продукції в процесі літографії. При цілодобовій роботі система забезпечує мінімальні перерви у роботі, а термін служби становить десятки тисяч годин. Повторюваність результатів є ключовою характеристикою цього модуля.
Чому цей модуль підходить для використання
Цей модуль ідеально підходить для процесів обробки пластин діаметром 200 мм – від сушіння після очищення до процедур сушіння фотополімеру. Чіткий контроль температури дозволяє уникнути дефектів фотополімеру, пов’язаних з відхиленнями температури, а стабільне сушіння усуває фактори, які призводять до необхідності повторної обробки. Результатом є менше бракованої продукції, вища ефективність використання обладнання та стабільність критичних розмірів. Ми контролюємо витрати енергії, не жертвуючи точністю налаштувань, тож витрати на експлуатацію залишаються прогнозованими.
Практичні деталі
Встановлення модуля має враховувати вимоги щодо відведення випарів та контролю вібрацій. Модуль функціонує належним чином, якщо його підключити до стабільного джерела живлення. Профілактичне технічне обслуговування – перевірка фільтрів та калібрування датчиків – дозволяє уникнути довгострокових відхилень. Необхідно запланувати час технічного обслуговування. Хоча цей час є невеликим, він є обов’язковим.