На поверхні плати для обробки відомий принцип: навіть зміна температури на 0,2°C може призвести до того, що характеристики фотополімеру вийдуть за межі допусків, і продукція стане непридатною до використання. Традиційні нагрівальні пристрої не можуть ефективно боротися з неоднорідністю температури по всій площі пластини, тож доводиться постійно контролювати параметри процесу та усувати відхилення. Ми створили модуль зонованого інфрачервоного нагріву, який дозволяє усунути ці відхилення саме там, де це найважливіше – прямо на поверхні пластини.
Що є важливим? Інфрачервоне випромінювання короткої довжини хвилі з можливістю незалежного керування кожною зоною забезпечує однорідність температури на поверхні пластини до рівня ±0,1°C. Температура досягає оптимального значення за кілька секунд, що скорочує час нагрівання та дозволяє мати більш точні параметри процесу. Модуль може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення частинок, що підтверджується можливістю контролю в реальному часі та конструкцією модуля, яка зменшує виділення газів. Час роботи модулю – 24/7, а його середній термін служби відповідає очікуванням щодо обладнання для виробництва полупровідників.
Чому цей модуль ефективний у літографії? Просто: повторюваність процесу нагрівання дозволяє контролювати розміри елементів пластини та підвищувати якість продукції. Завдяки зонованому нагріванню зменшується неоднорідність температури, тож процес нагрівання залишається стабільним незалежно від серії пластин чи змін працівників. Це означає менше необхідності переробки продукції, менше відходів та стабільні результати обробки. Крім того, споживання енергії також зменшується, адже модуль нагріває лише необхідні зони та мінімізує тепловий вплив на сусідні пристрої.
Для встановлення модуля потрібна чиста, рівна поверхня та достатньо місця для розміщення елементів випромінювача. Комплекти для модифікації підходять для типових кріплень, але механічні характеристики залежать від конкретної платформи. Щоб досягти однорідності температури ±0,1°C, модуль необхідно налаштувати відповідно до характеристик фотополімеру – ми надаємо для цього чіткі інструкції. Після налаштування процес залишається стабільним, але якщо змінюється склад фотополімеру, необхідно провести повторну налаштування.