Üretim alanında, termal değişimler göz ardı edilebilecek bir durum değildir. Fotoresistin yumuşak veya sert fırınlanması sırasında meydana gelen 5°C’lik bir sıcaklık değişimi, çizgi genişliğinin kontrolünü bozabilir. Ayrıca, RTP sırasında meydana gelen düzensiz sıcaklık değişimleri de yarıiletken yapıların kalitesini olumsuz etkiler. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için RTP cihazlarımızda özel halojen lambalar kullandık.
Asıl önemli olan şeyler
Bu lambalar, kuvars kaplamalı yapılar içinde kısa dalga boylu halojen ışık kaynakları kullanır; bu sayede saniyeler içinde hızlı ve verimli ısıtma gerçekleşir. Önemli olan parametre ise termal düzenliliktir: Waferin her yerinde ±0,1°C’lik bir sıcaklık farkı olmalıdır ve bu değerler yerinde ölçülür. Temiz oda koşullarına uygunluk da bu lambalarda ön plandadır: 1–100 sınıfına uygun malzemeler, mühürlü arayüzler ve gaz salınımını azaltan yapılar kullanılır. Böylece hiçbir parçacık üretilmez ve verimlilik bozulmaz.
Neden bu önemli?
Sıcaklık, kritik boyutları belirleyen faktördür. ±0,1°C’lik bir kontrol ile yumuşak ve sert fırınlama işlemleri plana uygun şekilde gerçekleşir ve tekrarlanabilirlik sağlanır. RTP’de ise hızlı ısı artışı ve yüksek düzenlilik, yarıiletken yapıları korur. Böylece daha düzgün dağılımlar elde edilir, yeniden işleme ihtiyacı azalır ve döngü süreleri sabit kalır. Verimlilik açısından da avantajlıdır; radyasyon transferi ve hassas çalışma modları enerji tüketimini azaltır.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Soğutucu akışı, polarite ve montaj torkuna dikkat etmek gerekiyor. Bunlar, mühürlemeyi sağlayan ve optik hizalamayı koruyan unsurlardır. Lambalar standart RTP odalarında kullanılabilir; ancak yansıtıcı geometrinin hedeflenen sıcak bölgeye uygun olması gerekir. 2.000 saat sonra kalibrasyon yapılması gerekmektedir. Çıktıdaki değişimler küçük olsa da mevcuttur. Biz bunu önceden belirtir ve gerekli düzenlemeleri yaparız.