Fabrika katında, fotoresist pişirme tekrarlanabilirliği sadece giriş bedelidir. Yumuşak pişirme veya sert pişirme sırasında 2°C’lik bir sapma, kritik boyut bütçenize hızla zarar verir—ve bunun ne anlama geldiğini bilirsiniz: verim düşüşü. Fabrika lambalarındaki kuvars cam koruyucu, wafer ile fotoresistin buluştuğu noktada termal alanın doğru kalmasını sağlar.
Kaputun altında önemli olanlar
Yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz çünkü kısa dalga ve orta dalga enerjisini minimum emilimle iletir, böylece lamba çıkışı ve spektral stabilite olması gereken seviyede kalır. Wafer genelinde termal uniformite ±0.1°C’de tutulur; bu, tutarlı fotoresist akışı ve temiz çözücü uzaklaştırımı için temel değerdir. Malzeme, temiz oda Class 1–100 şartlarında uyumlu çalışır ve tasarım, işletme sırasında partikül oluşumunu sıfırda tutar—böylece fotolitografi yığını temiz kalır. Planlanmamış duruş olmadan 7/24 güvenilirlik, uzun servis ömrü ve binlerce saat boyunca stabil çıktı sağlanır.
Litografi çalışma şeklimizle uyumlu olmasının nedeni
Sıkı termal bütçelerle çalışıyorsunuz. Bu koruyucu, lamba enerjisini odaklar, sıcak noktaları ortadan kaldırır ve hem yumuşak hem sert pişirme profillerinin tekrarlanabilirliğini sağlar. Sonuç olarak daha sıkı örtüşme, daha az tekrar işleme partisi ve daha az hurda elde edilir. Ayrıca lamba verimli çalıştığı için enerji tüketiminde düşüş gözlemlenir ve koruyucunun dayanıklılığı yedek parça ihtiyacını ve bakım duruş sürelerini azaltır.
Kurulum ve bakımda dikkat edilmesi gerekenler
Kurulum, lamba eksenine hassas hizalamaya ve aparata temiz bir ara yüzeye indirgenir. Temiz oda prosedürüne uygun şekilde işlem yapılmalıdır; mikro çizik ışığın saçılmasına ve ileride sorun yaratmasına neden olur. Koruyucuyu lamba tipi ve voltajla eşleştirin—uyumsuzluk spektral çıkışı kaydırır ve uniformiteyi olumsuz etkiler. Özellikle yüksek güçlü çalışma döngülerinde, transmisyon ve bütünlüğün doğrulanması için planlı kontroller yapılmalıdır.