MEMS सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु एक बेहतर तरीका
यदि आपने कभी MEMS सेंसर वेफरों से काम किया है, तो आपको इसमें आने वाली परेशानियों का अंदाजा होगा। वेफरों में मौजूद पानी को जल्दी से हटाना आवश्यक है… लेकिन पानी के निशान या ऐसा तापीय दबाव भी टालना आवश्यक है, जिससे वेफर खराब हो जाएं।
लंबे समय तक, कन्वेक्शन ओवनों का ही उपयोग किया गया। लेकिन वास्तव में ये बेकार ही हैं… कुछ ही वेफरों को सुखाने हेतु पूरे चैंबर को गर्म करना पड़ता है। यह प्रक्रिया धीमी है, महंगी है… और यह “हरित कारखानों” के लक्ष्यों के अनुरूप भी नहीं है।
इसी कारण हमने शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू किया। ऐसे लैंपों में हवा को गर्म करने के बजाय, सीधे ही वेफर की सतह को गर्म किया जाता है।
भौतिकी का महत्व
हमने ऐसे इन्फ्रारेड सिस्टमों को उच्च ऊर्जा घनत्व हेतु ही डिज़ाइन किया है… ताकि वेफर जल्दी ही सूख जाएं।
इन्फ्रारेड विकिरण सीधे ही वेफर पर मौजूद पानी के अणुओं तक पहुँचता है… यह हवा में नहीं रुकता, न ही मशीन के ढाँचे में घुसता है।
यह तरीका कुशल एवं स्वच्छ है… इससे वेफरों को सुखाने में लगने वाला समय भी कम हो जाता है।
उपकरणों के बारे में
हम लैंपों हेतु उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि सेमीकंडक्टर उत्पादन में कोई भी प्रकार का प्रदूषण बहुत ही खतरनाक है।
वेफरों के आकार एवं आवश्यक तापमान के आधार पर, हम लैंपों पर लगे कोटिंगों में बदलाव करते हैं… ऐसा करने से ऊष्मा सीधे ही MEMS संरचनाओं तक पहुँचती है… वेफर के किनारों को नुकसान नहीं पहुँचता।
वायरिंग के बारे में
हम मानक औद्योगिक कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… ऐसे कनेक्टर मजबूत होते हैं… और मशीनें चलने के दौरान ढीले नहीं होते।
ध्यान रखने योग्य बातें
यदि आप इन लैंपों का उपयोग पुरानी मशीनों में कर रहे हैं, तो अपने वोल्टेज की जाँच अवश्य करें… ऐसे लैंप बहुत अधिक धारा खींचते हैं… यदि आपका पावर सप्लाई इस धारा को संभालने में सक्षम न हो, तो फ्यूज टूट सकता है।
तोड़-फोड़ से बचने हेतु…
इन्फ्रारेड विधि तो तेज़ है… लेकिन इसमें बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसलिए लैंपों के तापमान एवं वेफरों की गति के बीच संतुलन बनाना आवश्यक है… यदि कन्वेयर थोड़ा भी धीमा हो जाए, तो वेफरों की संरचनाएँ नष्ट हो सकती हैं।
पूरे बैच को बर्बाद होने से बचाने हेतु, हम रियल-टाइम पाइरोमीटर फीडबैक का उपयोग करने की सलाह देते हैं… ऐसा करने से आप थोड़ा आराम से सो सकते हैं… क्योंकि आपको पता होगा कि वेफर सुरक्षित हैं।