300 मिमी आकार के वेफरों के लिए, ड्रायर तो आवश्यक ही है… यह तो वेफर को बाहर भेजने से पहले अंतिम थर्मल चेकपॉइंट है। फोटोरेसिस्ट को गर्म करने के दौरान थोड़ी सी भी तापमान-असमानता, या पुराने लैंपों से निकलने वाले कण, लिथोग्राफी प्रक्रिया को व्यर्थ बना देते हैं। हमने अपने वेफर-ड्रायिंग लैंप को एक ही महत्वपूर्ण आवश्यकता के आधार पर डिज़ाइन किया है – वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे, ताकि कोई संदूषण न हो।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जो तेज़ एवं सटीक गर्मी प्रदान करते हैं… इससे तापमान तुरंत ही निर्धारित स्तर पर पहुँच जाता है। 300 मिमी आकार के वेफरों के लिए ऑप्टिमाइज्ड क्वार्ट्ज विंडो एवं रिफ्लेक्टरों के कारण, पूरे वेफर पर समान तापमान प्राप्त होता है… इससे किनारों एवं केंद्र में तापमान-अंतर नहीं होता। यह सिस्टम क्लीनरूम-अनुकूल है… इसमें क्लास 1–100 की सामग्रियों का उपयोग किया गया है… और यह बिना किसी कण उत्पन्न किए ही काम करता है। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के कारण, हर बार एक ही तापमान प्राप्त होता है… इससे कम अलार्म, कम रखरखाव, एवं कम बर्बादी होती है।
इंस्टॉलेशन के दौरान क्या ध्यान देना आवश्यक है?
यह लैंप 300 मिमी आकार के वेफरों के लिए ही डिज़ाइन किया गया है… लेकिन इंस्टॉलेशन के दौरान मैकेनिकल इंटरफेस, बिजली, शीतलन आदि सुविधाओं का ठीक से व्यवस्थित होना आवश्यक है। आउटपुट की स्थिरता, शुद्ध बिजली एवं स्थिर शीतलन-पानी के तापमान पर ही निर्भर है… इसलिए कमीशनिंग के दौरान पूर्ण लोड पर तापमान-जाँच आवश्यक है। एक दिन का समय निर्धारित करके, अपनी प्रक्रिया के अनुसार इसे कैलिब्रेट करें।