फैब्रिकेशन लेवल पर, तापमान में होने वाले परिवर्तन को नजरअंदाज नहीं किया जा सकता। फोटोरेजिस्ट को “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” करते समय 5°C का परिवर्तन भी लाइनविड्थ नियंत्रण को बिगाड़ सकता है; जबकि RTP में होने वाले असमान तापमान परिवर्तन जंक्शनों की संरचना को नष्ट कर सकते हैं। हमने RTP के लिए ऐसी हैलोजन लैंपें विकसित की हैं, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
इन लैंपों में क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटरों का उपयोग किया गया है; इससे त्वरित एवं कुशल तापन होता है। महत्वपूर्ण बात यह है कि वेफर पर तापमान में ±0.1°C का ही परिवर्तन होना चाहिए – यह मापन सीधे ही किया जाता है, अनुमान से नहीं। क्लीनरूम के नियमों का भी ध्यान रखा गया है – क्लास 1–100 के अनुरूप सामग्रियों का उपयोग किया गया है, इंटरफेसेस सील्ड हैं, एवं गैस निकलने की समस्याओं से बचा गया है। इसका परिणाम यह है कि कोई कण उत्पन्न नहीं होता, इसलिए थर्मल साइकलिंग के कारण उत्पादन में कोई कमी नहीं आती।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट में इसका क्या महत्व है?
तापमान ही उत्पादों के आकारों को निर्धारित करता है। ±0.1°C के नियंत्रण से सॉफ्ट बेक/हार्ड बेक प्रक्रियाएँ सही तरीके से होती हैं, एवं विभिन्न बैचों में भी उत्पादन स्थिर रहता है। RTP में तेज़ तापमान वृद्धि एवं असमान तापमान के कारण थर्मल बजट कम हो जाता है; इससे शैल्ड जंक्शनों एवं पतली परतों को सुरक्षा मिलती है। इसके परिणामस्वरूप उत्पादन में कमी नहीं आती, एवं चक्र-समय भी स्थिर रहता है। दक्षता भी बढ़ जाती है – रेडिएंट ट्रांसफर एवं सटीक ड्यूटी साइकलों के कारण ऊर्जा की खपत कम हो जाती है।
स्थापना के समय क्या ध्यान देना आवश्यक है?
कूलेंट के प्रवाह, ध्रुवता, एवं माउंटिंग टॉर्क पर ध्यान देना आवश्यक है। ऐसा करने से ही सील ठीक रहता है, एवं ऑप्टिकल अलाइनमेंट भी सही रहता है। ये लैंप मानक RTP चैम्बरों में भी काम करते हैं; लेकिन रिफ्लेक्टर की ज्यामिति को लक्षित हॉट-ज़ोन के अनुरूप ही रखना आवश्यक है। 2,000 घंटों के बाद कैलिब्रेशन की आवश्यकता होती है – आउटपुट में थोड़ा परिवर्तन हो सकता है, लेकिन यह वास्तविक ही है। हम इसे ध्यान में रखते हैं, एवं इसके लिए उचित योजना बनाते हैं।