2.5D/3D पैकेजिंग प्रक्रियाओं में, ऐसे हीटरों के कारण समस्याएँ नहीं आतीं… क्योंकि इनकी डिज़ाइन ही गलत है… वास्तव में, ऐसे हीटर थर्मल ड्रिफ्ट के कारण ही विफल हो जाते हैं। अंडरफिल क्यूरिंग प्रक्रिया में कुछ डिग्री का अंतर होने से ही उत्पादन दर में कमी आ जाती है… ऐसी प्रक्रियाओं में घंटों का समय बर्बाद हो जाता है, एवं सामग्री भी बर्बाद हो जाती है। हमने ऐसे 2.5D/3D IC पैकेजिंग हीटर बनाए हैं, ताकि हर चक्र में थर्मल स्थिरता बनी रहे।
इसका मूल तत्व तो दोहरावशीलता ही है… क्वार्ट्ज-हैलोजन शॉर्ट-वेव एमिटरों के कारण तेज़ एवं नियंत्रित प्रतिक्रिया प्राप्त होती है… एवं कार्बन-फाइबर से बना हीटर थर्मल लोड के दबाव में भी स्थिर रहता है… एक्टिव ज़ोन में तापमान में ±0.1°C की स्थिरता रहती है… एवं सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक एवं एडहेसिव क्यूरिंग प्रक्रियाओं में भी यही स्थिरता बनी रहती है… यह हीटर 24/7 काम करता है… एवं क्लास 1–100 क्लीनरूमों में कोई भी कण उत्पन्न नहीं होता… आउटपुट ड्रिफ्ट की जाँच 5,000 घंटों के बाद ही की जाती है… एवं एक बार रेसिपी निर्धारित हो जाने के बाद, प्रक्रिया की गुणवत्ता 1.67 से ऊपर ही रहती है…
यह 2.5D/3D पैकेजिंग लाइनों में इसलिए उपयोगी है, क्योंकि यह तापमान को एक चर के रूप में ही नहीं लेता… फोटोरेजिस्ट बेकिंग प्रक्रियाएँ निर्धारित मानकों के अनुरूप ही होती हैं… TSV फिलिंग एवं अंडरफिल क्यूरिंग भी लक्षित मानकों के अनुरूप ही होती है… थर्मल ग्रेडिएंट नियंत्रित होने के कारण वार्पेज भी कम हो जाता है… क्वालिफिकेशन प्रक्रियाएँ छोटी हो जाती हैं… एवं तेज़ एफिशिएंसी के कारण प्रति इकाई ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है…
इसकी स्थापना बहुत ही आसान है… लेकिन इंटरफेस के लिए योजना बनाना आवश्यक है… हीटर का आकार अपने चक एवं टूलिंग के अनुरूप ही होना चाहिए… एवं स्थापना के बाद थर्मल कैलिब्रेशन के लिए 30 मिनट का समय आवश्यक है… यह हीटर स्टैंडर्ड 4–28 VDC कंट्रोलरों एवं SMbus/RS-485 इंस्ट्रूमेंटेशन के साथ काम करता है… अपने चैंबर में मौजूद गैस मिश्रण की जाँच अवश्य करें… ऑक्सीजन-युक्त वातावरण में विशेष एमिटर मटेरियल ही आवश्यक है… टूल को कैलिब्रेट करने के बाद ही प्रक्रिया नियंत्रण में रहती है…