फैब्रिकेशन लाइनों पर, 2°C का ही थोड़ा सा अंतर भी फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता पर प्रभाव डाल सकता है। अगर वेयरहाउसिंग प्रक्रिया में अत्यधिक ऊष्मा उत्पन्न हो, तो इससे दाग पड़ सकते हैं। IC उत्पादन हेतु कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर आवश्यक है – यह लिथोग्राफी एवं पैकेजिंग प्रक्रियाओं में थर्मल स्थिरता बनाए रखने में मदद करता है। चूँकि इस उद्योग में हर वेफर की गुणवत्ता बहुत महत्वपूर्ण है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम नियर-इन्फ्रारेड (NIR) एमिटरों का उपयोग करते हैं; ऐसे एमिटरों से तेज़ एवं सटीक तरीके से ऊष्मा उत्पन्न होती है। वेफर पर तापमान की समानता ±0.1°C के भीतर रहती है, जबकि सेटपॉइंट की स्थिरता ±0.5°C के भीतर रहती है। इससे हर बार फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता समान रहती है। यह ड्रायर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है; इसमें कण-नियंत्रित वायु-प्रवाह एवं शून्य कण-उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ हैं। यह 24/7 काम कर सकता है, एवं इसकी औसत जीवन-अवधि 20,000 घंटों से अधिक है। इसका आकार 300 मिमी × 200 मिमी × 150 मिमी है; इसके लिए 24 VDC या 48 VDC बिजली की आवश्यकता है, एवं इसमें मानक कनेक्टर भी हैं।
यह लाइनों पर क्यों काम करता है?
आपको ऐसी ऊष्मा की आवश्यकता है जो तेज़ी से प्रभाव डाले, लेकिन अतिरिक्त ऊष्मा न उत्पन्न करे। NIR एमिटरों से ऐसी ही ऊष्मा प्राप्त होती है; इससे उत्पादन समय कम हो जाता है। ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि एमिटर सीधे वेफर एवं सब्सट्रेट पर ही ऊष्मा उत्पन्न करता है, न कि चैंबर की दीवारों पर। फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इससे गुणवत्ता में सुधार होता है, एवं पुनः-प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है। पैकेजिंग में यह अतिरिक्त तरल पदार्थों को सुखाने में मदद करता है, एवं वेफर में कोई विकृति नहीं आती। क्लीनरूम में इसका उपयोग करने से कणों की संख्या कम रहती है – जो उन्नत उत्पादन प्रक्रियाओं हेतु आवश्यक है।
कुछ व्यावहारिक बातें…
ड्रायर को स्थिर, फिल्टर्ड बिजली-स्रोत एवं स्वच्छ, शुष्क वायु-प्रवाह की आवश्यकता है। वार्म-अप समय कम है, लेकिन बेकिंग प्रक्रिया 10 मिनट की स्थिरीकरण-अवधि के बाद ही शुरू होनी चाहिए। यह ड्रायर कॉम्पैक्ट है, लेकिन एमिटर क्षेत्र के चारों ओर सुरक्षा हेतु जगह आवश्यक है। एमिटर का स्पेक्ट्रम आपके फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट के अनुरूप होना चाहिए; हमारी टीम आपकी आवश्यकताओं के अनुसार प्रक्रिया तैयार कर सकती है।