फैब फ्लोर पर, भट्टी की तापीय ड्रिफ्ट केवल डिस्प्ले पर एक संख्या नहीं है। यह महत्वपूर्ण आयामों में बदलाव और वेफर के पार दूषित प्रोफाइल के रूप में...

फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक केवल पीक तापमान के बारे में नहीं है। यह वेफर पर तापीय समानता के बारे में है। 0.5°C का विचलन CD बायस को प्रभावित कर सकता...