دیگر اجازه ندهید انرژی هدر برود: چرا لامپهای دو لولهای پوشیده شده با طلا واقعاً مؤثر هستند؟
وقتی که در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. اگر از لامپهای کوارتز استاندارد استفاده کنید، در واقع در حال هدر دادن انرژی هستید. این لامپها گرما را به تمام جهات منتشر میکنند؛ بنابراین بخش عمدهای از انرژی صرف گرم کردن دیوارههای فر میشود، نه اینکه به ویفرها برسد.
این یک هدررفت انرژی است. اما ما راهی برای جلوگیری از آن پیدا کردهایم.
جادوی طلا
ما یک لایه نازک از طلا روی پشت لامپ قرار دادیم. البته، این روش به نظر پیچیده میرسد، اما در واقع مربوط به قوانین فیزیک است. طلا، نور مادون قرمز را بهتر از آلومینیوم یا فولاد صیقلی منعکس میکند.
میتوانید آن را مانند یک آینه حرارتی در نظر بگیرید؛ گرما به جای اینکه به سمت عقب برود، به لایه طلا برخورد کرده و دوباره به سمت ویفر بازمیگردد. این کار باعث افزایش قابل توجهی در جریان حرارتی میشود؛ اما نکته خوب این است که دیگر نیازی به استفاده از مقدار زیادی جریان برق نیست.
انرژی بیشتر، فضای کمتر
یکی دیگر از مزایای این سیستم، استفاده از دو لوله است. هدف این بود که تعداد بیشتری از عناصر گرمایشی را در فضای کوچکتری قرار دهیم.
با دوبرابر کردن سطح فیلامنت، میتوانیم میزان انرژی مورد نیاز را افزایش دهیم، بدون اینکه نیاز به لامپهای بلند باشد. این کار باعث افزایش چگالی حرارتی میشود؛ در واقع، زمان گرم شدن ویفرها کوتاهتر میشود و میتوانیم دمای سطح ویفرها را بهتر کنترل کنیم.
مشکلات احتمالی
باید بدانید که دقت، چیزی رایگان نیست. اگرچه پوشش طلا باعث کارایی بیشتر میشود، اما روش کارکرد لامپ را تغییر میدهد. این لامپها در سمت فیلامنت، دمای بسیار بالاتری دارند.
باید فنهای خنککننده و سیستمهای خنککننده را به دقت بررسی کنید؛ اگر جریان هوا کافی نباشد، ممکن است اتصالات لامپ آسیب ببینند یا حتی قطعات مربوط به نصب لامپ تخریب شوند. مطمئن شوید که سیستم خنککننده میتواند با گرمای تولید شده کنار بیاید.
نحوه استفاده
ما این لامپها را به عنوان جایگزین لامپهای IR استاندارد طراحی کردهایم؛ بنابراین نیازی نیست کل دستگاه را دوباره ساختاربندی کنید. از اتصالات صنعتی برای جلوگیری از مشکلات ناشی از بارهای بالا استفاده کردهایم.
فقط کافی است آنها را به یک کنترلکننده PID متصل کنید؛ این کار باعث میشود دمای دستگاه به طور پایدار کنترل شود.