洁净室设备升级中

停止用传统方式加热设备：更有效的晶圆加温方法 如果你曾在半导体制造厂工作过，那么你一定了解其中的难题。我们需要将晶圆或基材加热到指定温度，但又不能让机器内部变成一个“烤箱”。 传统的红外线加热器就存在这样的问题——它们会将热量散布到各个地方。很快，机器的内部就会变得非常热，这对零部件来说是个灾难，...