如何阻止制造过程中出现的“幽灵粒子”
要维持100级洁净室的清洁状态，仅仅更换空气过滤器是不够的。如果你从事过半导体加工工作，就会知道真正的难题在于加热元件本身。
大多数普通红外灯都有问题：它们会在你不希望其发光的时候释放出微量杂质。我们通过将高纯度合成石英与金反射涂层结合在一起来解决这个问题。
其工作原理如下：
我们在石英管的背面涂上一层金。这并不是为了美观，而是为了让金层起到热反射的作用，将红外辐射反射到晶圆上，从而避免能量白白浪费在加热灯体上。
这样一来，关键部位的热密度就会更高，而灯体的两端则保持较凉的状态。至于石英材料，我们选用的是高纯度的那种。因为我们要确保在高温环境下不会有金属杂质渗出，这样才能避免那些“幽灵粒子”破坏优质的硅晶圆。
关于安装方面的注意事项：
这些灯属于精密设备，其产生的热量非常集中。由于金涂层能将所有能量集中到同一个方向，因此必须注意控制灯体的温度。如果冷却系统无法承受如此高的热量，那么设备就可能会损坏。所以，一定要确保冷却系统能够胜任这一任务。
为什么要这么做呢？
廉价的灯泡通常依靠粘合剂或低品质的金属来工作。在真空或超高洁净度环境中，这类材料很容易失效或释放杂质。这无疑是个大问题。而我们的镀金石英管则完全避免了这些问题。它提供了稳定且干净的能源，不会对生产流程造成任何干扰。对于那些无法容忍300毫米晶圆上出现哪怕一点点灰尘的工程师来说，这是一种更简单、更安全的工作方式。