ในโรงงานผลิตชิป การเพิ่มอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสก็สามารถทำให้โครงสร้างของสารโฟโตรีซิสต์เปลี่ยนไปได้ ส่วนการใช้ความร้อนสูงในบริเวณขอบของชิปอาจทำให้เกิดคราบสกปรกได้ เครื่องอบด้วยแสงอินฟราเรดสำหรับชิปไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถเลือกใช้ได้ตามใจชอบ แต่เป็นอุปกรณ์สำคัญที่ช่วยให้กระบวนการผลิตมีความแม่นยำ เราสร้างเครื่องนี้ขึ้นมาเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในกระบวนการผลิต ซึ่งในธุรกิจนี้ แต่ละชิปมีความสำคัญมาก
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องนี้ใช้หลักการของแสงอินฟราเรดเพื่อให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยมีค่าความเฉื่อยทางความร้อนต่ำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวชิปอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส และความแม่นยำของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.5 องศาเซลเซียส ดังนั้นโครงสร้างของสารโฟโตรีซิสต์จึงมีความแม่นยำในแต่ละล็อตการผลิต เครื่องนี้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีระบบควบคุมปริมาณฝุ่น และวัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดฝุ่นเลย เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 20,000 ชั่วโมง และไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้ตั้งใจเลย ขนาดของเครื่องอยู่ที่ 300 มม. × 200 มม. × 150 มม. โดยใช้ไฟฟ้า 24 VDC หรือ 48 VDC และมีพอร์ตเชื่อมต่อมาตรฐานสำหรับการติดตั้งเข้ากับระบบที่มีอยู่
เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในโรงงาน คุณต้องการความร้อนที่สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการเกินขีดจำกัด แสงอินฟราเรดช่วยให้การให้ความร้อนเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว พร้อมทั้งมีระบบควบคุมที่แม่นยำ ดังนั้นเวลาในการอบจึงลดลง และประสิทธิภาพในการผลิตก็เพิ่มขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะแสงอินฟราเรดสามารถส่งความร้อนไปยังชิปโดยตรง ไม่ใช่ไปยังผนังของห้องอบ ในกระบวนการผลิตสารโฟโตรีซิสต์ สิ่งนี้ช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำ และลดการต้องทำงานซ้ำลง ส่วนในกระบวนการบรรจุภัณฑ์ ก็ช่วยให้สามารถทำให้สารที่อยู่ใต้ชิปแห้งได้ โดยไม่ทำให้ชิปเสียรูป นอกจากนี้ การใช้เครื่องนี้ในห้องปลอดฝุ่นยังช่วยลดปริมาณฝุ่นได้อีกด้วย ซึ่งเป็นสิ่งที่จำเป็นสำหรับการผลิตชิประดับสูง
ข้อควรระวังบางประการ เครื่องนี้ต้องการแหล่งพลังงานที่มีความเสถียร และมีระบบกรองอากาศที่ดี เพื่อให้กระจกที่ใช้ในการมองเห็นชิปมีความสะอาด การเตรียมเครื่องให้พร้อมใช้งานใช้เวลาไม่นาน แต่ควรเริ่มการอบหลังจากที่เครื่องมีความเสถียรแล้วประมาณ 10 นาที เครื่องนี้มีขนาดกะทัดรัด แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีพื้นที่ว่างรอบๆ บริเวณที่มีเครื่องอบ เพื่อความปลอดภัย ควรเลือกสเปกตรัมของแสงอินฟราเรดให้เหมาะสมกับสารโฟโตรีซิสต์และวัสดุที่ใช้ในการผลิต ทีมงานของเราสามารถช่วยออกแบบกระบวนการผลิตให้เหมาะสมกับโรงงานของคุณได้