Pada garis pengeluaran 2.5D/3D, struktur tersebut tidak akan runtuh kerana konsepnya sendiri yang salah. Ia gagal disebabkan oleh perubahan suhu yang berlaku semasa proses pemanasan. Jika terdapat perbezaan suhu sebanyak beberapa darjah dalam proses pengerasan bahan di bawah lapisan pelindung, kualiti produk akan menurun dengan drastik. Proses pembetulan seperti ini memerlukan masa yang lama dan menggunakan banyak bahan. Kami mencipta alat pemanas untuk pembungkusan IC 2.5D/3D ini agar suhu dapat dikawal dengan tepat, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Inti utamanya adalah kemampuan untuk mengulangi proses tersebut secara konsisten. Pemancar gelombang pendek jenis kuarsa-halogen memberikan respons yang cepat dan boleh dikawal, serta output spektrum yang tepat. Badan pemanas yang diperkuat dengan serat karbon pula kekal keras walaupun berada di bawah beban haba yang tinggi. Kesan pemanasan pada permukaan wafer adalah seragam, dengan variasi suhu sekitar ±0.1°C di kawasan aktif. Kestabilan suhu juga tetap terjaga sepanjang proses pemanasan, sama ada melalui kaedah pemanasan lembut atau keras, mahupun semasa proses pengerasan bahan perekat. Alat ini boleh beroperasi 24/7, tanpa menghasilkan zarah-zarah berbahaya di bilik bersih kelas 1–100. Pemeriksaan kualiti dilakukan setiap 5,000 jam sekali, dan setelah proses penyesuaian selesai, nilai Cpk akan tetap melebihi 1.67.
Alat ini sesuai digunakan dalam jalur pengeluaran 2.5D/3D kerana ia dapat menghilangkan faktor suhu sebagai variabel yang mempengaruhi kualiti produk. Profil pemanasan photoresist tetap berada dalam julat yang ditetapkan, proses pengisian TSV dan pengerasan bahan di bawah lapisan pelindung juga berjalan lancar. Kelengkungan permukaan wafer juga berkurangan kerana gradien suhu dapat dikawal dengan baik. Proses penyesuaian menjadi lebih cepat, jumlah bahan buangan berkurangan, dan penggunaan tenaga juga berkurangan kerana kecekapan pemanasan yang tinggi.
Pemasangannya mudah, namun perlu merancang antaramukanya dengan teliti. Pastikan saiz pemanas sesuai dengan alat yang digunakan, dan luangkan masa 30 minit untuk melakukan kalibrasi suhu sepenuhnya setelah pemasangan. Pemanas ini boleh digunakan bersama kawalan voltan biasa 4–28 VDC serta peranti pengukuran SMbus/RS-485. Pastikan campuran gas di dalam bilik bersih sesuai; suasana yang kaya dengan oksigen memerlukan bahan pemancar khusus. Setelah alat dikalibrasi, proses pengeluaran akan berjalan dengan lancar.