अल्ट्रा शुद्ध जल हीटिंग लैंप

फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक केवल पीक तापमान के बारे में नहीं है। यह वेफर पर तापीय समानता के बारे में है। 0.5°C का विचलन CD बायस को प्रभावित कर सकता...