ऊर्जा की बर्बादी रोकें: फैब में सोने से लेपित परावर्तकों का महत्व
वेफर निर्माण प्रक्रिया में, ऊर्जा की बर्बादी वास्तव में समय की बर्बादी ही है। ऐसा करना बहुत ही निराशाजनक है… क्योंकि वेफरों को ठीक करने हेतु उपयोग की जाने वाली इन्फ्रारेड ऊर्जा का आधा हिस्सा तो मशीन के आवरण में ही चला जाता है। यह तो पूरी तरह से बर्बादी ही है।
इसीलिए हम सोने से लेपित परावर्तकों का उपयोग करते हैं। ऐसा करने से वह ऊर्जा वापस सब्सट्रेट तक ही पहुँचती है।
सोने का फायदा
अधिकांश लोग एल्यूमीनियम से बने परावर्तकों का ही उपयोग करते हैं… लेकिन ऐसे परावर्तक गहराई में ऊर्जा पहुँचाने हेतु आवश्यक तरंगदैर्घ्य पर काम नहीं करते। सोना तो बिल्कुल अलग है… यह 98% तक इन्फ्रारेड विकिरण को वापस भेज देता है।
क्वार्ट्ज आवरण पर पतली सोने की परत लगाने से ऊर्जा केंद्रित हो जाती है… इससे वेफर पर ऊर्जा-घनत्व बढ़ जाता है… और बिजली की खपत कम हो जाती है। यह तो एक बेहतरीन विकल्प ही है।
हार्डवेयर का चयन
असली चुनौती तो लैंप की ज्यामिति ही है… हम ऐसे लैंप बनाते हैं जिससे ऊर्जा पूरे वेफर पर समान रूप से वितरित हो सके… कोई भी “ठंडा बिंदु” न रहे।
लेकिन सोना बहुत ही संवेदनशील है… इसे दूषण बिल्कुल पसंद नहीं है… परावर्तक पर एक भी उंगली का निशान या थोड़ा सा तेल भी इसके प्रभाव को नष्ट कर सकता है… इसलिए वातावरण को बिल्कुल स्वच्छ रखना आवश्यक है… वरना आप समय ही बर्बाद कर रहे हैं।
अपनी सुविधाओं में इसका उपयोग
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे आपके मौजूदा आईआर एरे के स्थान पर भी उपयोग में आ सकें… लेकिन ध्यान रखें… ऊर्जा इतनी तेज़ी से केंद्रित होती है कि अगर वेफर सही जगह पर न हो, तो वहाँ अत्यधिक तापमान पैदा हो सकता है।
इसलिए आपको Z-अक्ष की ऊँचाई को सही रखना होगा… वरना आपका सब्सट्रेट नष्ट हो सकता है। यह तो एक तरह का समझौता ही है… आपको ऊर्जा में बड़ा लाभ मिलता है… लेकिन स्थिति को सही रखने हेतु आपको अधिक सावधान रहना होगा।