अपने फैब में “घोस्ट” पार्टिकल्स को रोकना
क्लास 100 स्तर के क्लीनरूम को साफ रखने हेतु, केवल एयर फिल्टर बदलना ही पर्याप्त नहीं है। यदि आप सेमीकंडक्टर उत्पादन के क्षेत्र में काम करते हैं, तो आपको पता ही होगा कि वास्तविक समस्या क्या है… वह है हीटिंग एलिमेंट।
अधिकांश सामान्य इन्फ्रारेड लैंपों से ऐसी समस्याएँ होती हैं… वे ऐसे समय में भी गैसें उत्सर्जित करते हैं, जब हम ऐसा नहीं चाहते। हमने इस समस्या का समाधान उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करके किया… इसके साथ ही सोने की परत भी लगाई गई।
यह कैसे काम करता है?
हमने क्वार्ट्ज ट्यूब के पीछे सोने की परत लगाई। यह सिर्फ दिखावे के लिए नहीं है… यह सोने की परत थर्मल मिरर की तरह काम करती है… इससे इन्फ्रारेड विकिरण वेफर की ओर ही जाता है… न कि लैंप के आवरण को गर्म करने में खर्च हो जाता है।
परिणाम? जरूरी जगहों पर ऊष्मा का संचय होता है… और लैंप के छोर ठंडे ही रहते हैं।
और क्वार्ट्ज? हम उच्च-शुद्धता वाला ही क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं… हम इसकी गुणवत्ता पर बहुत ध्यान देते हैं… क्योंकि हम नहीं चाहते कि उच्च तापमान में धातुओं के अशुद्धियाँ वेफर में घुस जाएँ। इस तरह ही हम उन “घोस्ट” पार्टिकल्स को रोक पाते हैं… जो बेहतरीन सिलिकॉन वेफरों को नष्ट कर सकते हैं।
सेटअप संबंधी जानकारी:
ये लैंप बहुत ही सटीक उपकरण हैं… लेकिन इनसे निकलने वाली ऊष्मा बहुत ही तीव्र है। चूँकि सोने की परत सारी ऊष्मा को एक ही दिशा में भेजती है… इसलिए आपको लैंप के आवरण के तापमान पर नजर रखनी होगी।
यदि आपकी कूलिंग प्रणाली इतनी तीव्र ऊष्मा को संभालने में सक्षम न हो, तो आपके उपकरणों को नुकसान पहुँच सकता है। यह बहुत ही शक्तिशाली उपकरण है… इसलिए आपकी कूलिंग प्रणाली भी उतनी ही मजबूत होनी चाहिए।
ऐसा करने का क्या फायदा है?
सस्ते लैंपों में आमतौर पर चिपकने वाले पदार्थ या कम गुणवत्ता वाली धातुओं का उपयोग किया जाता है… वैक्यूम या अत्यधिक स्वच्छ वातावरण में ऐसी सामग्रियाँ जल जाती हैं… यह बहुत ही बुरा है।
हमारे सोने-लेपित लैंपों में ऐसी समस्याएँ ही नहीं हैं… आपको एक स्थिर एवं स्वच्छ ऊष्मा स्रोत मिलता है… जो आपकी उत्पादन प्रक्रिया को प्रभावित नहीं करता। जिन इंजीनियरों को 300 मिमी वेफर पर एक भी धूल कण नहीं चाहिए… उनके लिए यह बहुत ही सरल एवं सुरक्षित विकल्प है।