מנורת הלוגן למערכת RTP

בחדרי הייצור, שינויי טמפרטורה אינם עניין של מה בכך. שינוי של 5°C במהלך תהליכי חימום הפוטורזיסט עלול לפגוע בשליטה בעובי הקווים, ועלייה לא אחידה...