תפסיקו לחמם את הציוד שלכם – דרך טובה יותר לחימום הוואפרים
אם ביליתם זמן מה במפעל לייצור שבבים, אתם יודעים איזו בעיה זו מהווה. צריך לחמם את הוואפר או המשטח שעליו הוא נמצא, אך אי אפשר לאפשר לחום להתפשט בתוך המכונה.
המחממים הקרינתיים הרגילים גורמים לבעיה זו – הם מפיצים חום לכל מקום. במהרה, החלקים הפנימיים של המכונה נהיים חמים מאוד, מה שמהווה בעיה עבור הרכיבים השונים, וכן סכנה אמיתית לכל מי שצריך להיכנס לתוך המכונה.
איך אנחנו פותרים את זה
אנחנו משתמשים במנורות אינפרא-אדום בעלות גלים קצרים. ניתן לחשוב עליהן כעל מכשירי תאורה, ולא כמחממי אוויר. באמצעות מחזירי קרינה ומעטפות קוורץ ממוקדות, אנחנו יכולים להפנות את האנרגיה התרמית לכיוון מסוים.
המטרה פשוטה: לחמם את הוואפר, ולא לפגוע בשאר המכונה.
כיצד להתמודד עם החום העודף
אי אפשר למנוע את בריחת כל החום, אך ניתן לשלוט בו. אנחנו משתמשים בציפויים בעלי רמת החזרה גבוהה, כדי שהקרינה תישאר בכיוון הנכון.
בנוסף, מכיוון שהמנורות מחוברות למעגל בקרה PID, החימום קורה במהירות. אין צורך בתהליך איטי של חימום, שבו כל חלקי המכונה נהיים חמים מאוד.
המציאות בשטח
הבעיה היא שזו משימה שדורשת דיוק רב. אם המנורה לא ממוקמת במיקום הנכון, יהיו בעיות – הוואפר יהיה חם מדי, או שהחימום לא יהיה יעיל.
צריך גם להיות זהירים לגבי הקירור. מנורות אינפרא-אדום בעלות הספק גבוה יוצרות כמות גדולה של חום. אם זרימת האוויר לא תקינה, המנורה תישרף מוקדם מדי.
אך כשעושים את זה נכון? זו פתרון מצוין. ניתן להסיר את שכבות החימום העודף מהקירות הפנימיים של המכונה. כך המכונה נהיית בטוחה יותר עבור האנשים שמתקנים אותה, והחום מגיע למקום הנכון.
המכונה נשארת קרה, הוואפר נשאר חם – כולם מרוצים.