جلوگیری از هدر رفتن گرما: چرا استفاده از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا در کارخانههای تولید ویفرها مهم است
در کارخانههای تولید ویفرها، هدر رفتن انرژی در واقع معادل هدر رفتن زمان است. چیزی ناامیدکنندهتر از این نیست که ویفرها را در حال تبدیل شدن به محصول نهایی قرار دهیم، اما متوجه شویم که نیمی از انرژی مادون قرمز مورد نیاز، صرفاً در داخل بدنه دستگاه هدر میرود. این کاملاً هدر رفتن انرژی است.
به همین دلیل از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ به جای اینکه اجازه دهیم گرما از بین برود، آن را دوباره به سمت سطحی که باید در آنجا باشد، هدایت میکنیم.
ویژگیهای طلا
اکثر افراد از منعکسکنندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما این منعکسکنندهها در طول موجهای لازم برای تبدیل ویفرها، انرژی را بازتاب نمیدهند. طلا اما متفاوت است؛ طلا بیش از ۹۸٪ از تشعشعات مادون قرمز را بازتاب میدهد.
با قرار دادن یک لایه نازک از طلا روی پوشش کوارتز، میتوانیم انرژی را تمرکز کنیم؛ در نتیجه، چگالی انرژی روی ویفر بسیار بالاتر خواهد بود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان دستگاه باشد. هزینه برق کاهش مییابد و سرعت عمل دستگاه بالاتر میشود. این یک راهحل بسیار خوب است.
تنظیم صحیح تجهیزات
نکته مهم این است که تمرکز انرژی باید درست باشد؛ این موضوع کاملاً به ساختار لامپ بستگی دارد. ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که چگالی انرژی در سراسر ویفر یکنواخت باشد؛ بدون وجود نقاط سرد.
اما مشکل اینجاست که طلا حساس است؛ طلا از آلودگیها متنفر است. حتی یک اثر انگشت یا کمی روغن روی سطح منعکسکننده، میتواند باعث ایجاد نقاط سرد روی ویفر شود. بنابراین باید محیط را کاملاً تمیز نگه داریم، در غیر این صورت وقت خود را هدر خواهیم داد.
استفاده از این لامپها در سیستمهای موجود
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای معمولی مادون قرمز شوند؛ آنها مستقیماً به کنترلرهای موجود متصل میشوند.
اما باید مراقب باشید؛ چون طلا انرژی را به شدت تمرکز میکند، اگر ویفر دقیقاً در نقطه تمرکز قرار نداشته باشد، ممکن است دچار گرمای بیش از حد شود. بنابراین باید زمان بیشتری صرف تنظیم ارتفاع محور Z کنید، تا از سوختن سطح ویفر جلوگیری شود. این یک توازن است؛ شما انرژی بیشتری دریافت میکنید، اما مهلت اشتباه کردن در تنظیم موقعیت ویفر کمتر میشود.