متوقف کردن ذرات “غیرقابل مشاهده” در فرآیندهای تولید
نگهداری یک اتاق تمیز در سطح کلاس ۱۰۰، نیازمند تلاشهای بیشتری از صرفاً تعویض فیلترهای هوا است. اگر تجربه کار در فرآیندهای تولید نیمههادی را دارید، میدانید که مشکل اصلی، خود عنصر گرمایشی است.
بیشتر لامپهای مادون قرمز استاندارد، در زمانی که نمیخواهیم، گازهای سمی یا ذرات کوچکی را آزاد میکنند. ما این مشکل را با استفاده از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا و پوشش طلایی، حل کردیم.
نحوه کارکرد آن به این صورت است:
ما لایهای از طلا روی پشت لوله کوارتز قرار میدهیم. هدف این کار، ظاهر زیبا نیست؛ بلکه این لایه طلایی مانند یک آینه حرارتی عمل کرده و تشعشعات مادون قرمز را به سمت ویفر هدایت میکند، به جای اینکه انرژی آن صرف گرم شدن بدنه لامپ شود.
نتیجه؟ تراکم حرارتی بسیار بالاتری در جای مناسب، و سرهای لامپ نیز خنکتر میمانند.
در مورد کوارتز نیز، از نوع با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا نمیخواهیم که ناخالصیهای فلزی در طول چرخههای دمای بالا، وارد سیستم شوند. این روش، راهی برای جلوگیری از آسیب به ویفرهای سیلیکونی است.
نکته مهم درباره نصب این لامپها:
این لامپها ابزارهای دقیقی هستند، اما گرمای تولید شده توسط آنها بسیار زیاد است. از آنجایی که پوشش طلایی، تمام انرژی را در یک جهت هدایت میکند، باید دمای بدنه لامپ را تحت کنترل داشت.
اگر سیستم خنککننده شما برای تحمل این میزان گرما مناسب نباشد، ممکن است لامپها آسیب ببینند. این ابزار بسیار قدرتمندی است؛ پس مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این گرما باشد.
چرا باید از این روش استفاده کرد؟
لامپهای ارزان، اغلب از چسبها یا فلزات با کیفیت پایین استفاده میکنند؛ در محیطهای خلأ یا بسیار تمیز، این مواد به سرعت از بین میروند. این موضوع، یک مشکل بزرگ است.
لولههای کوارتزی با پوشش طلایی، این مشکلات را کاملاً از بین میبرند. شما یک منبع حرارتی پایدار و تمیز خواهید داشت؛ که مانع از اختلال در فرآیندهای تولید میشود. برای هر مهندسی که نمیخواهد حتی یک ذره گرد و غبار روی ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری وجود داشته باشد، این روش، روشی سادهتر و ایمنتر برای کار است.