Vermeidung von Energieverlusten: Eine bessere Methode zum Transport der Wafer
Wer schon einmal in einem Halbleiterreinraum gearbeitet hat, kennt das Problem: Es ist eine ständige Herausforderung, die Wafer während des Transports bei der richtigen Temperatur zu halten. Das ist wirklich stressig.
Die meisten Menschen verwenden weiterhin herkömmliche Konvektionsheizungen – doch das ist eine Menge unnötiger Anstrengung. Wir haben stattdessen Infrarot-Heizsysteme in die Transportwagen eingebaut. Es geht nicht nur darum, die Wafer bei der richtigen Temperatur zu halten – sondern auch darum, den enormen Energieverlust zu vermeiden, der sonst die Ziele einer „grünen Fabrik“ behindert.
Warum Infrarot-Heizungen funktionieren
Betrachten Sie mal, wie herkömmliche Heizungen funktionieren: Sie erhitzen die Luft – und zwar hoffentlich auch die Wafer. Doch das geschieht sehr langsam und ist außerdem energieintensiv. Infrarot-Heizungen sind anders: Sie nutzen Kurzwellenemitter, die die Wärme direkt auf die Wafer übertragen. Es gibt keinen Mittelsmann mehr. Die Luft um den Transportwagen bleibt kühl – dadurch muss das Lüftungssystem nicht übermäßig arbeiten, um die entstehende Wärme zu kompensieren.
Die Vor- und Nachteile
Wir wählen die geeignete Heizmethode je nach Gewicht der Wafer aus. Hochleistungsquarzlampen liefern die benötigte Wärme, damit alles während des Transports stabil bleibt. Das Beste daran: Sie schalten sich sofort ein. Man schaltet die Heizung nur dann ein, wenn der Transportwagen wirklich in Bewegung ist.
Aber es gibt auch Nachteile: Diese Lampen werden sehr heiß. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann das Chassis des Transportwagens beschädigt werden oder die Sensoren zerstört werden. Man muss also auf die Leistung sowie die Entfernung zur Wafer achten – sonst entstehen heiße Stellen, die alles ruinieren können.
Energieeinsparung
Letztendlich bedeutet das einfach weniger Kilowattstunden pro Wafer. Wenn man nicht mehr versucht, den ganzen Raum zu heizen, nur um einige Wafer zu transportieren, sinkt der Energieverbrauch schnell. Das ist ein Gewinn für alle Beteiligten: Man hat besseren Kontrolle über die Temperaturen – und die Stromrechnung wird kleiner. Wenn man noch etwas anspruchsvoller vorgehen möchte, kann man die Heizung mit einem smarten Controller verbinden. So kann die Leistung automatisch an die Position des Transportwagens angepasst werden – und jeder mögliche Energieverlust wird vermieden.