Die „Geisterpartikel“ in der Fabrik stoppen
Um einen Reinraum der Klasse 100 sauber zu halten, reicht es nicht aus, einfach nur die Luftfilter auszutauschen. Wer schon Erfahrung im Halbleiterverarbeitungsprozess hat, kennt das Problem: Die Heizelemente selbst.
Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen sind problematisch – sie geben Gase ab oder setzen kleine Stoffpartikel frei, gerade dann, wenn man das nicht möchte. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir hochreinen synthetischen Quarz mit einer goldbeschichteten Oberfläche kombiniert haben.
So funktioniert es eigentlich:
Wir beschichten die Rückseite des Quarztubes mit einer Goldschicht. Es geht dabei nicht um ein optisches Aussehen – diese Goldschicht fungiert wie ein Wärmerückspiegel, der die Infrarotleistung zurück auf die Siliziumwafer lenkt, anstatt sie zum Aufheizen des Lampengehäuses zu verwenden.
Das Ergebnis? Eine viel höhere Wärmestärke genau dort, wo sie benötigt wird – und die Enden der Lampe bleiben kühler.
Und der Quarz? Wir verwenden nur hochreinen Quarz. Wir legen großen Wert auf die Qualität, denn wir möchten keine metallischen Verunreinigungen, die während der hohen Temperaturen entstehen könnten. So können die „Geisterpartikel“ keine Schäden an den Siliziumwafern verursachen.
Ein paar Hinweise zur Installation:
Diese Lampen sind präzise Geräte – doch die konzentrierte Wärme ist intensiv. Da die Goldbeschichtung die Energie in eine Richtung lenkt, muss man auf die Temperatur des Lampengehäuses achten. Wenn das Kühlsystem nicht stark genug ist, können die Komponenten beschädigt werden. Es handelt sich um eine leistungsstarke Anlage – daher sollte man sicherstellen, dass das Kühlsystem mithalten kann.
Warum sich diese Lösung lohnt:
Billige Lampen nutzen oft Klebstoffe oder minderwertige Metalle. In einem Vakuum oder in einer ultrareinen Umgebung verschleißen diese Materialien schnell oder geben Gase ab. Das ist ein Albtraum. Unsere goldbeschichteten Lampen beseitigen solche Probleme vollständig. Man erhält eine stabile, saubere Wärmequelle, die die Produktion nicht gefährdet. Für jeden Ingenieur, der es sich nicht leisten kann, dass auch nur ein Staubkorn auf einer 300-mm-Wafer landet, ist das einfach eine einfachere und sicherere Lösung.