Vermeiden Sie das Desaster eines zerbrochenen Infrarotlichts in Ihrer Fertigung
Seien wir ehrlich: Ein zerbrochenes Infrarotlicht in einer Halbleiterfertigungsanlage ist ein echtes Desaster. Es handelt sich dabei nicht um ein Problem, das man einfach mit einer schnellen Reparatur oder einer kurzen Stillstandszeit lösen kann. Wenn ein Quarztube während eines Hochlastbetriebs zerbricht, fallen Glasscherben sowie Metallfäden auf die Wafer.
In einem Moment ist noch alles in Ordnung – im nächsten Moment sinkt die Produktivität aufgrund von sekundären Kontaminationen. Es entsteht Chaos.
Genau deshalb konstruieren wir unsere Kohlenstofffaserverstärkten Infrarotlampen auf diese Weise. Wir konzentrieren uns auf die Materialien sowie die Verkleidung der Lampen, damit Sie nicht Ihren Wochenende damit verbringen müssen, zerbrochenes Glas zu beseitigen.
Warum Kohlenstofffasern?
Die meisten Menschen sind an Wolfram gewöhnt – doch das Problem ist: Wolfram kann spröde sein. Bei schnellen Temperaturänderungen kann er einfach brechen. Kohlenstofffasern hingegen sind anders. Sie können thermischen Schocks problemlos standhalten. Sie bleiben auch bei den hohen Temperaturen, die für die Erwärmung der Wafer erforderlich sind, stabil. Da die Fasern nicht brechen, entstehen keine gefährlichen Hotspots, die letztendlich zur Zerstörung der Tube führen könnten.
Vermeiden Sie Unordnung
Auch mit den besten Materialien planen wir immer für das Schlimmste. Wir umhüllen die Lampe mit einer schützenden Quarzschicht oder einer speziellen Verkleidung. Das dient als Sicherheitsnetz – falls die Lampe versagt, bleiben die Überreste in der Verkleidung gefangen. Sie erreichen die Siliziumwafer nie.
Wir kümmern uns auch sehr um die Dichtungen. Wir verwenden hochreines Quarzmaterial, dessen Enden präzise bearbeitet werden. Dadurch wird eine Ausgasung vermieden, wenn die Lampe heiß wird. Nur eine Warnung: Wenn Sie die Lampen bis zu ihrer maximalen Leistung nutzen, stellen Sie sicher, dass Ihr Vakuumsystem die dabei entstehende Wärme bewältigen kann.
Die Realität von Leistung und Wärme
Es handelt sich dabei um ein Gleichgewicht. Eine höhere Leistungsdichte bedeutet, dass die Wafer schneller erwärmen – was gut für die Produktivität ist. Doch dadurch entsteht auch mehr Druck auf die Quarzverkleidung. Man kann nicht einfach die Spannung erhöhen und darauf hoffen, dass alles funktioniert. Wenn der Luftstrom unzureichend ist und die Lampe überhitzt, wird das Quarz weich – und dann versagt die Lampe.
Der beste Weg, einen „Zusammenbruch“ der Lampe sowie einen Stillstand der Fertigung zu vermeiden, ist einfach: Achten Sie genau auf die Temperaturkontrolle. Halten Sie die Lampe innerhalb der zulässigen Temperaturgrenzen – dann können Sie ruhiger schlafen.