Lampa na sušení waférů 300mm
V lineáku o velikosti 300 mm není sušička jen příjemným doplňkem – jedná se o poslední kontrolní bod předtím, než výrobek opustí továrnu. Několik...
Modul sušení waferů 200mm
Na lince o velikosti 200 mm může jeden krok spojený s úpravami za použití vody vážně poškodit kvalitu výrobku. Voda zůstávající po čištění se...