V lineáku o velikosti 300 mm není sušička jen příjemným doplňkem – jedná se o poslední kontrolní bod předtím, než výrobek opustí továrnu. Několik stupňů nerovnoměrnosti během sušení fotorezistentu, nebo únik částic z vyřazené lampy mohou způsobit to, že repetibilní proces litografie selže. Naše lampy na sušení polovodičových čipů jsou navrženy tak, aby udržovaly teplotu čipu v rozmezí ±0,1 °C, bez jakéhokoli znečištění.
Co je důležité uvnitř zařízení
Používáme emitor krátkovlnného infračerveného záření, který umožňuje rychlé a lokalizované zahřívání. Díky tomu se teplota rychle dostane na nastavenou hodnotu, bez jakýchkoliv zpoždění. Kvartové okno a geometrie reflektoru optimalizované pro práci s čipy o velikosti 300 mm zajistují rovnoměrný tok tepla po celém povrchu čipu, čímž se eliminuje nerovnoměrnost teploty na okrajích čipu. Systém je kompatibilní s čistými prostorami – používají se materiály a uzávěry třídy 1–100. Systém je navržen tak, aby nevytvářel žádné částice. Kontrola v uzavřené smyčce zajišťuje repetibilnost výsledků – stejná teplotní hodnota platí pro každý čip, a to i v různých směnných cyklech.
Proč je to důležité při zpracování fotorezistentu
Teploty používané při sušení přímo ovlivňují odstraňování rozpouštědel, napětí ve vrstvě fotorezistentu a nakonec i kontrolu kritických rozměrů. Tato Lampa zajišťuje konzistentní teplotní profil, což znamená méně oprav a lepší výnos. Rychlá reakce lampy snižuje dobu cyklu, zatímco nízká tepelná hmotnost minimalizuje spotřebu energie. Díky tomu dosahujete konzistentních výsledků při stejné teplotě, s méně alarmy, menší údržbou a méně odpadu.
Na co se zaměřit při instalaci
Tato lampa je určena k použití s čipy o velikosti 300 mm a k integraci do standardních čistých prostor. Avšak mechanické rozhraní a potřebné systémy – napájení, chlazení, odvětrávání – musí být správně nakonfigurovány během instalace. Stabilita výstupu závisí na kvalitním napájení a stabilní teplotě chladicí vody. Proto by měla být během zkoušky prováděna kontrola stability v plném provozu. Vyhraďte si jeden den na integraci a poté kalibrujte zařízení podle svých požadavků.