Hãy ngừng việc sử dụng các thiết bị làm nóng thông thường: Một cách tốt hơn để làm nóng các tấm wafer
Nếu bạn từng làm việc trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn mà người ta phải đối mặt. Bạn cần làm nóng các tấm wafer hoặc vật liệu dùng để chế tạo chúng, nhưng lại không muốn khiến bên trong máy trở thành một “lò nướng”.
Các loại bộ làm nóng bằng bức xạ thông thường thường gây ra vấn đề này. Chúng lan tỏa nhiệt ra mọi hướng. Chẳng mấy chốc, bên trong máy sẽ trở nên quá nóng, điều này gây hại cho các linh kiện và tạo ra nguy cơ an toàn cho những người phải vào bên trong máy để bảo trì.
Làm thế nào để giải quyết vấn đề này?
Chúng tôi sử dụng các đèn hồng ngoại tia ngắn. Có thể coi chúng như những chiếc đèn pin, chứ không phải những thiết bị làm nóng không khí. Nhờ có các bộ phản xạ và lớp vỏ thủy tinh, chúng ta có thể tập trung nguồn nhiệt vào một điểm cụ thể.
Mục tiêu rất đơn giản: chỉ cần làm nóng đúng điểm cần thiết, còn phần còn lại của máy thì không bị ảnh hưởng.
Làm sao để kiểm soát việc lan tỏa nhiệt?
Bạn không thể ngăn chặn hoàn toàn việc nhiệt lan tỏa ra ngoài. Nhưng bạn hoàn toàn có thể kiểm soát được nó. Chúng tôi sử dụng các lớp phủ có khả năng phản xạ cao để giữ cho nhiệt lượng được tập trung vào một điểm duy nhất.
Vì chúng được kết nối với hệ thống điều khiển PID, nên việc làm nóng diễn ra rất nhanh. Không còn tình trạng máy bị nóng quá mức, khiến toàn bộ thân máy trở thành một “bể giữ nhiệt” nữa.
Thực tế tại nơi sản xuất
Đây là một công việc đòi hỏi độ chính xác cao. Nếu đèn bị lệch vài milimét thôi, bạn sẽ gặp rắc rối. Các điểm nóng trên tấm wafer sẽ xuất hiện, hoặc tệ hơn nữa, bạn sẽ không thể làm nóng đúng điểm cần thiết.
Bạn cũng cần chú ý đến việc làm mát máy. Các đèn hồng ngoại công suất cao tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu dòng khí lưu thông kém hoặc quạt không hoạt động đúng cách, đèn sẽ nhanh chóng bị hỏng.
Nhưng khi mọi thứ được điều chỉnh đúng cách? Mọi thứ sẽ trở nên tốt đẹp hơn. Bạn có thể loại bỏ lớp vật liệu cách nhiệt dày trên các bức tường bên trong máy. Điều này giúp máy an toàn hơn đối với những người bảo trì nó, và nhiệt lượng sẽ được tập trung đúng nơi cần thiết.
Máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Tấm wafer thì được làm nóng đúng mức. Mọi người đều hài lòng.