اس لائن پر، 2.5D/3D پیکیجنگ سسٹمز ٹوٹتے نہیں، کیوں کہ ان کا تصور ہی غلط ہے؛ در حقیقت یہ سسٹمز حرارتی عوامل کی وجہ سے ناکام ہو جاتے ہیں۔ اگر انڈرفل کیئرنگ کے دوران درجہ حرارت میں چند ڈگریوں کا فرق پڑ جائے، تو پروڈکشن کی شرح بہت کم ہو جاتی ہے۔ اس طرح کی تعمیرِ نو میں گھنٹوں کا وقت لگتا ہے، اور مواد بھی ضائع ہو جاتا ہے۔ ہم نے اس 2.5D/3D IC پیکیجنگ ہیٹر کو اس لئے تیار کیا ہے کہ حرارتی عوامل کو کنٹرول میں رکھا جا سکے، اور یہ چکر بعد چکر کام کرتا رہے۔
اس ہیٹر کا بنیادی فائدہ یہ ہے کہ یہ بار بار استعمال کیا جا سکتا ہے۔ کوارٹز-ہیلوجن شارٹ-ویو ایمیٹرز سے تیز اور قابل کنٹرول ردِعمل حاصل ہوتا ہے، جبکہ کاربن-فائبر سے بنایا گیا ہیٹر حرارتی بوجھ کے باوجود سخت رہتا ہے۔ اس سے ایکٹیو زون میں درجہ حرارت کی تغیرات ±0.1°C تک رہتی ہیں، اور سافٹ بیک، ہارڈ بیک، اور ایڈہیسیو کیئرنگ کے دوران بھی یہی حد برقرار رہتی ہے۔ یہ ہیٹر 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں اس سے کوئی ذرہ بھی پیدا نہیں ہوتا۔ آؤٹپٹ ڈرفٹ کی جانچ ہر 5,000 گھنٹوں کے بعد کی جاتی ہے، اور جب پروسیس کنفیگریشن مکمل ہو جاتی ہے، تو پروسیس Cpk کی قیمت 1.67 سے زیادہ رہتی ہے۔
یہ ہیٹر 2.5D/3D پیکیجنگ لائنوں میں استعمال کے لئے مناسب ہے، کیوں کہ یہ درجہ حرارت کو ایک متغیر کے طور پر استعمال نہیں کرتا۔ فوٹوریزسٹ کیئرنگ کے دوران درجہ حرارت مطلوبہ حد میں رہتا ہے، TSV فلنگ اور انڈرفل کیئرنگ بھی مطلوبہ معیارات کے مطابق ہوتی ہے، اور حرارتی گریڈیئنٹ کنٹرول کی وجہ سے وارپیج بھی کم ہو جاتا ہے۔ اس طرح کوالیفیکیشن کے چکر مختصر ہو جاتے ہیں، فضول مواد کی مقدار کم ہو جاتی ہے، اور تیز رفتار گرمی کی وجہ سے ہر یونٹ کے لئے درکار توانائی بھی کم ہو جاتی ہے۔
اس ہیٹر کی تنصیب بہت آسان ہے، لیکن انٹرفیس کے لئے منصوبہ بندی ضروری ہے۔ ہیٹر کے سائز کو اپنے چک اور آلات کے ساتھ میل کھانا ضروری ہے، اور تنصیب کے بعد مکمل تھرمل کیلیبریشن کے لئے 30 منٹ کا وقت درکار ہے۔ یہ ہیٹر معیاری 4–28 VDC کنٹرولرز اور SMbus/RS-485 آلات کے ساتھ کام کرتا ہے؛ صرف اپنے چیمبر کے گیس مکس کی تصدیق کریں – آکسیجن سے بھرپور ماحول میں خاص ایمیٹر مواد کی ضرورت ہوتی ہے۔ آلات کو کیلیبریٹ کرنے کے بعد، پروسیس کنٹرول میں رہتا ہے۔