فیبریکیشن لائنوں پر، 2°C کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو تبدیل کر سکتا ہے۔ اگر بیکنگ کے دوران درجہ حرارت زیادہ ہو جائے، تو اس سے ناخالصیاں پیدا ہو سکتی ہیں۔ آئی سی کیلئے کمپیکٹ انفراریڈ ڈرائر صرف ایک اختیاری آلہ نہیں، بلکہ پروسیس کی کامیابی کیلئے ضروری ہے۔ ہم نے یہ آلہ اس لئے تیار کیا ہے تاکہ لیتھوگرافی اور پیکیجنگ لائنوں میں درجہ حرارت کی استحکام برقرار رہے؛ کیوں کہ اس کاروبار میں ہر ویفر کی اہمیت بہت زیادہ ہے۔
کن چیزوں کی اہمیت ہے؟
ہم نے نیئر-انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کئے ہیں، جو تیز رفتاری سے حرارت پیدا کرتے ہیں، اور ان کی حرارتی انرشیا کم ہے۔ ویفر کے اوپر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، جبکہ سیٹ پوائنٹ کی استحکام ±0.5°C کے اندر رہتا ہے۔ اس طرح فوٹوریزسٹ کی خصوصیات ہر بار یکساں رہتی ہیں۔ یہ ڈرائر کلاس 1–100 کے کلین رومز میں استعمال کیا جا سکتا ہے؛ اس میں ذرات سے پاک ہوا کا استعمال ہوتا ہے۔ یہ 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، اور اس کی MTBF 20,000 گھنٹوں سے زیادہ ہے۔ اس کا سائز 300 ملی میٹر × 200 ملی میٹر × 150 ملی میٹر ہے، اور اس کے لئے 24 VDC یا 48 VDC کی بجلی کی ضرورت ہے۔
یہ آلہ لائنوں پر کیوں کام کرتا ہے؟
اس کیلئے تیز رفتاری سے حرارت پیدا کرنے والے ایمیٹرز کی ضرورت ہے، تاکہ بیکنگ کا وقت کم ہو اور پروڈکشن کی رفتار بڑھے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ ایمیٹر سیدھے ویفر اور سبسٹریٹ پر حرارت پیدا کرتا ہے، نہ کہ چیمبر کی دیواروں پر۔ فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں اس سے کرٹیکل ڈائمینشنز کا بہتر کنٹرول ممکن ہوتا ہے، اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ پیکیجنگ میں اس سے نمی ختم ہو جاتی ہے، اور ویفر میں کوئی تناؤ نہیں پڑتا۔ کلین رومز میں اس کے استعمال سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے، جو جدید ٹیکنالوجیوں کیلئے ضروری ہے۔
کچھ عملی نکات:
اس ڈرائر کیلئے مستحکم، فلٹرڈ بجلی کی ضرورت ہے، اور صاف، خشک ہوا کا استعمال بھی ضروری ہے، تاکہ آپٹیکل ونڈو صاف رہے۔ وارم اپ کا وقت کم ہے، لیکن بیکنگ صرف 10 منٹ کے بعد شروع کی جانی چاہئے۔ یہ ڈرائر کمپیکٹ ہے، لیکن ایمیٹر کے ارد گرد کافی جگہ کی ضرورت ہے، تاکہ سیفٹی سسٹم کام کر سکے۔ ایمیٹر کی تخصصات کو فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ کی خصوصیات کے مطابق منتخب کرنا ضروری ہے؛ ہماری ٹیم آپ کی لائن کے لئے مناسب پروسیس تیار کر سکتی ہے۔