На виробничій лінії навіть незначна зміна температури на 2°C може вплинути на профіль в’ялення фотозасобу. Якщо температура під час в’ялення є занадто високою на краях пластини, це може призвести до утворення шару осаду. Компактний інфрачервоний сушар для ІЧ-чипів є не просто зручним пристроєм – це елемент, який забезпечує стабільність процесу. Ми створили цей пристрій для забезпечення стабільності температури під час процедур літографії та упаковки, адже в цій галузі кожна пластина має велике значення.
Що є важливим у конструкції пристрою
Ми використовуємо випромінювачі з діапазону ближнього інфрачервоного світла, які дозволяють швидко нагрівати поверхню пластини з мінімальною тепловою інерцією. Рівномірність температури по всій поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, а точність контролю температури – ±0,5°C. Це дозволяє забезпечити стабільність профілю в’ялення фотозасобу від однієї партії до іншої. Сушара підходить для використання в чистих кімнатах класу 1–100; її конструкція передбачає контроль кількості частинок у повітрі та використання матеріалів, які не виділяють частинок. Пристрій призначений для цілодобової роботи; термін служби перевищує 20 000 годин, без жодних перерв у роботі. Розміри пристрою – 300 мм × 200 мм × 150 мм; він працює від напруги 24 В чи 48 В, має стандартні з’єднувачі для підключення до існуючих систем.
Чому цей пристрій ефективний на виробничій лінії
Потрібен швидкий нагрів без перегріву. Випромінювачі з діапазону ближнього інфрачервоного світла дозволяють швидко нагрівати поверхню пластини з точним контролем температури. Це дозволяє скоротити час в’ялення та підвищити продуктивність. Використання енергії зменшується, оскільки випромінювач діє безпосередньо на поверхню пластини та базовий матеріал, а не на стінки камери. У процесі обробки фотозасобу це сприяє кращому контролю критичних розмірів та меншій кількості необхідних корекцій. Під час упаковки пристрій дозволяє ефективно висушувати матеріали та усувати вологу, не спричиняючи деформації. Сумісність з чистими кімнатами дозволяє зберігати низьку кількість частинок у повітрі – саме те, що потрібно для виробництва чіпів високого рівня складності.
Кілька практичних порад
Пристрій потребує стабільного, фільтрованого джерела живлення та чистого, сухого повітря для забезпечення ясності оптичного елемента. Час підготовки пристрою до роботи є коротким, але процес в’ялення слід починати лише після 10 хвилин стабілізації. Пристрій є компактним, але все одно необхідно забезпечити достатню відстань навколо зони випромінювання для забезпечення безпеки та ефективної вентиляції. Спектр випромінювання слід підбирати відповідно до типу фотозасобу та базового матеріалу; наша команда може допомогти підібрати оптимальні параметри для вашої виробничої лінії.