Üretim alanında bilindiği üzere, fırın sıcaklığında 0,2°C’lik bir değişiklik bile foto direnç profilinin standartların dışına çıkmasına neden olur. Geleneksel ısıtıcılar, kenarlardaki sıcaklık farklarını ve wafer üzerindeki eşitsizlikleri gidermeye çalışır; bu da kontrol sınırlarını daha da sıkılaştırmayı gerektirir. Biz ise bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için, waferin bulunduğu yerde doğrudan etki eden bölgesel kızılötesi ısıtma modülleri geliştirdik.
Önemli olan şeyler
Bağımsız, kapalı döngülü kontrol mekanizmalara sahip kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar, direnç yüzeyinde ±0,1°C’lik bir eşitlik sağlar. Sıcaklık birkaç saniye içinde sabitlenir; böylece termal süreçler daha hızlı tamamlanır ve daha dar işlem aralıkları elde edilir. Bu sistem, partikül üretimi olmayan Class 1–100 temiz odalarında çalışır ve yerinde izleme ile düşük gaz salınımı özellikleri sayesinde güvenilirdir. Cihaz 24/7 çalışabilir ve MTBF değeri, yarı iletken ekipmanları için beklenen standartlara uygundur.
Litografide nasıl işe yaradığı basittir: Tekrarlanabilir fırınlama işlemleri, CD kontrolünü ve verimliliği artırır. Bölgesel ısıtma sayesinde termal değişkenlikler azalır; böylece yumuşak ve sert fırınlamalar her parti, wafer ve vardiya için tutarlı kalır. Bu da daha az yeniden işleme ihtiyacı, daha az atık ve istikrarlı performans anlamına gelir. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü modül yalnızca hedeflenen bölgeleri ısıtır ve yanındaki cihazlara olan termal etkileşimi en aza indirir.
Montaj için temiz ve düz bir yüzey gereklidir; ayrıca kızılötesi ısıtıcı dizisi için yeterli alan da olmalıdır. Modüler eklentiler yaygın ray sistemlerine uyumludur; ancak mekanik yapı platformlara göre değişir. ±0,1°C’lik eşitliği sağlamak için modülün dirençlerin termal profiline göre kalibre edilmesi gerekir. Bunun için size takip edilebilir bir prosedür sunuyoruz. Bir kez ayarlandıktan sonra işlem süreci sabit kalır; ancak direnç kimyasallarını değiştirirseniz yeniden kalibrasyon yapılması gerekecektir.