На производственном участке все просто: даже небольшое изменение температуры в 0,2°C может привести к тому, что параметры фотопреобразователя выйдут за пределы допустимых значений, и продукт станет бракованным. Традиционные нагревательные устройства не могут эффективно бороться с неравномерностью температуры по всей поверхности пластины, поэтому приходится ужесточать требования к контролю температуры. Мы разработали модуль инфракрасного нагрева с зонированным управлением, который позволяет исключить такую нестабильность прямо на уровне самой пластины.
Что имеет значение Инфракрасное излучение коротких волн с независимым контролем в каждой зоне обеспечивает однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Температура стабилизируется за считанные секунды, что сокращает время нагрева и позволяет использовать более строгие параметры процесса. Устройство может работать в чистых комнатах класса 1–100 без образования частиц, что подтверждается контролем в реальном времени и специальной конструкцией устройства, минимизирующей выброс газов. Время работы устройства составляет 24/7, а срок службы соответствует ожиданиям, связанным с оборудованием для производства полупроводников.
Принцип работы этого устройства в литографии прост: воспроизводимость процесса нагрева определяет точность формирования структур на пластине. Благодаря зонированному нагреву удается снизить переменчивость температуры, что позволяет сохранять стабильность процесса при производстве различных партий пластин. Это снижает количество бракованных изделий и обеспечивает стабильность характеристик пластин. Также снижается потребление энергии, поскольку устройство нагревает только нужные зоны, минимизируя теплопередачу на соседние элементы оборудования.
Для установки устройства необходима чистая, ровная поверхность, а также достаточно места для размещения массива инфракрасных излучателей. Комплекты для модернизации подходят для общепринятых креплений, но механические характеристики устройства могут отличаться в зависимости от платформы. Чтобы достичь однородности температуры в ±0,1°C, необходимо скалировать устройство в соответствии с тепловыми характеристиками используемого фотопреобразователя. Мы предоставляем специальную процедуру для этого. После настройки устройство будет работать стабильно, но если меняется химический состав фотопреобразователя, потребуется повторная настройка.