На производственном участке повторяемость температуры отжига фоторезиста — это базовое требование. Отклонение на 2°C во время мягкого или твёрдого...

На производственном участке часы не останавливаются. Литографические треки продолжают работу, модули нанесения и запекания циклично работают, а...