Bij de 300mm-lijn is de droger geen luxe, maar een essentieel onderdeel van het proces. Het is het laatste thermische controlepunt voordat de wafer de fabriek verlaat. Enkele graden van oneffenheid tijdens het drogen van de fotoresist, of het loskomen van deeltjes uit een ouder wordende lamp, kunnen ervoor zorgen dat het proces niet meer reproduceerbaar is en dat de wafer wordt weggegooid. We hebben onze drooglamp ontworpen met één belangrijk doel voor ogen: de temperatuur op het oppervlak van de wafer op ±0,1°C houden, zonder dat er contaminatie optreedt.
Wat belangrijk is in het systeem We gebruiken een kortegolf-infraroodemitter die is afgestemd op snelle, gecontroleerde verwarming. Hierdoor bereikt de temperatuur snel het gewenste niveau. Een kwartsvenster en reflectoren die zijn aangepast aan de 300mm-formaat wafer, zorgen voor een evenmatige verdeling van de warmte over het hele oppervlak van de wafer. Dit zorgt voor minder verschillen tussen de randen en het midden van de wafer. Het systeem is geschikt voor gebruik in een schone ruimte, met materialen en afsluitingen van klasse 1–100. Bovendien zorgt het systeem er voor dat er geen deeltjes worden geproduceerd tijdens het proces. Dankzij de gesloten-lusregeling blijft de uitkomst steeds consistent, zodat elke wafer dezelfde thermische behandeling krijgt, shift na shift.
Waarom dit belangrijk is bij het verwerken van fotoresist De temperaturen tijdens het drogen bepalen rechtstreeks hoe goed de oplosmiddelen worden verwijderd, welke spanning er op het filmpje ontstaat en hoe nauwkeurig de afmetingen van de wafer kunnen worden bepaald. De drooglamp zorgt ervoor dat het droogproces precies volgens het voorgeschreven profiel verloopt. Hierdoor zijn er minder herwerkingen nodig en wordt de opbrengst verbeterd. De snelle respons zorgt voor een kortere verwerkingstijd, zonder dat de temperatuur te hoog wordt. De lage thermische massa zorgt er bovendien voor dat er minder energie wordt verbruikt. U krijgt dus consistente resultaten bij dezelfde instellingen, met minder storingen, minder onderhoud en minder afval.
Wat u moet voorbereiden bij installatie Deze drooglamp is ontworpen voor het verwerken van 300mm-wafer en kan gemakkelijk worden geïntegreerd in een schone ruimte. Echter, de mechanische interfaces en de benodigde systemen zoals stroomvoorziening, koeling en afvoer moeten tijdens de installatie goed worden geconfigureerd. De stabiliteit van het systeem hangt af van een stabiele stroomvoorziening en een constante temperatuur van het koelwater. Tijdens de inbedrijfstelling moet dus ook worden gecontroleerd of het systeem onder maximale belasting nog goed werkt. Reserveer hiervoor één dag voor integratie en kalibreer het systeem vervolgens volgens uw processpecificaties.