Op de productielijn heeft een lichte verhoging van de temperatuur met 2°C al invloed op het profiel van de fotoresist. Een te hoge temperatuur aan de randen kan echter leiden tot ongewenste effecten. Een compacte infrarooddroger voor IC’s is geen luxe – het is een essentieel onderdeel van het proces. We hebben deze droger ontworpen om de thermische consistentie in de lithografie- en verpakkingslijnen te bewaren. In deze branche telt iedere chip.
Wat belangrijk is achter de schermen We gebruiken near-infraroodemitters die zijn ingesteld op snel en efficiënt verwarming met minimale thermische inertie. De temperatuurovereenstemming over de hele chip blijft binnen ±0,1°C, terwijl de herhalbaarheid van de instellingen rond ±0,5°C ligt. Hierdoor blijven de parameters van de fotoresist consistent van batch tot batch. De droger past in schone ruimten van klasse 1–100; er wordt gebruik gemaakt van lucht die is gefilterd op deeltjes, zodat er geen ongewenste deeltjes vrijkomen. De droger kan 24/7 worden gebruikt, met een MTBF van meer dan 20.000 uur en geen ongeplande stilstanden. De afmetingen zijn 300 mm × 200 mm × 150 mm. Er zijn standaardconnectoren beschikbaar voor aansluiting op bestaande systemen.
Waarom het werkt Je hebt hitte nodig die snel werkt, zonder dat de temperatuur te hoog wordt. Near-infraroodemittingen zorgen voor snelle verwarming met nauwkeurige controle. Hierdoor neemt de tijd die nodig is om de chip te drogen af, terwijl de productiecapaciteit toeneemt. De energieverbruik neemt ook af, omdat de emitter rechtstreeks op de chip en het substraat werkt, in plaats van op de wanden van de kamer. In de fotoresistverwerking betekent dit meer precisie bij het bepalen van de afmetingen en minder herwerkingswerkzaamheden. In de verpakkingsindustrie helpt het om overtollige vloeistoffen te verwijderen en vocht te elimineren, zonder dat de chip vervormt. De compatibiliteit met schone ruimten zorgt ervoor dat het aantal deeltjes minimaal blijft – precies wat vereist is voor geavanceerde technologieën.
Enkele praktische tips De droger heeft een stabiele, gefilterde stroomvoorziening nodig, evenals schone, droge lucht om het optische venster schoon te houden. De opwarmtijd is kort, maar het proces mag pas beginnen na een stabilisatietijd van 10 minuten. De droger is compact, maar er moet nog steeds ruimte zijn rondom de emitterzone voor veiligheidsredenen en voor het afvoeren van lucht. Pas het spectrum van de emitter aan op je fotoresist en substraat. Ons applicatie-team kan helpen om het proces aan te passen aan jouw productielijn.