반도체 가열기에 에너지를 낭비하는 것을 그만두세요.
반도체 공장을 운영하고 있다면 잘 알다시피, 정밀도가 모든 것입니다. 하지만 탄소중립 목표를 달성하기 위해 우리는 대형 기계들에만 집중합니다. 선이나 같은 작은 부품들은 간과되는 경우가 많습니다.
문제는 적외선 가열 시스템의 온도가 매우 높다는 점입니다. 이런 환경에서 일반적인 전선을 사용하면 절연층이 손상됩니다. 그 결과 에너지가 필요 없는 곳으로 새어나가고, 결국 에너지 낭비와 장비 고장의 위험이 생깁니다.
그래서 우리는 PTFE(테플론)로 코팅된 전선을 사용하기로 했습니다.
PTFE는 열에 강합니다.
PVC나 실리콘으로 만든 전선들은 고온에서 녹거나 가스가 방출됩니다. 하지만 PTFE는 260°C까지도 견딜 수 있습니다.
이러한 가열기에서는 전선들이 극도로 뜨거운 석영관과 몇 인치밖에 떨어져 있지 않습니다. PTFE는 여전히 튼튼하기 때문에, 전력 소모를 안정적으로 유지시켜주며 단락 현상을 방지합니다.
‘친환경적인’ 측면
우리는 모두 “웨이퍼당 소비되는 에너지”를 중요하게 생각합니다. 하지만 절연층이 손상되면 전류가 새어나가게 됩니다. 이는 곧 돈과 에너지의 낭비입니다.
게다가 클린룸은 혹독한 환경입니다. 여기저기 청소제가 있죠. PTFE는 이러한 화학물질에 반응하지 않으며, 매끄러운 표면 때문에 더러워지지도 않습니다. 전선의 수명이 길어져서 몇 달마다 교체할 필요가 없습니다. 그러니 폐기물도 줄고 탄소 배출량도 줄어듭니다. 간단합니다.
설치 시 주의사항
물론 완벽하지는 않습니다. PTFE는 딱딱하기 때문입니다. 실리콘처럼 부드럽지 않습니다. 좁은 공간에 넣으려고 하면 주의해야 합니다. 그렇게 하면 납땜부에 과도한 부담이 가해집니다. 충분한 공간을 주고, 구부리는 방향도 신중히 계획해야 합니다.
결론
고밀도 적외선 램프와 함께 PTFE 전선을 사용하는 것이 최선의 방법입니다. 전선이 안정적이면 전체 시스템도 안정적인 상태를 유지할 수 있습니다. 그러면 가열기는 과부하되거나 과도하게 작동할 필요가 없습니다. 그 결과, 교대 근무당 소비되는 전력도 줄어들고, 장비도 더 오래 버틸 수 있습니다.