Pada proses pembuatan paket IC tipe 2.5D/3D, struktur tersebut tidak akan hancur, karena konsepnya memang tidak salah. Yang menjadi masalah adalah efek drift termal. Perbedaan suhu sebesar beberapa derajat saja sudah cukup untuk membuat kualitas produk menurun drastis. Proses perbaikan semacam ini membutuhkan waktu yang lama dan menghabiskan banyak bahan. Kami menciptakan alat pemanas untuk paket IC tipe 2.5D/3D ini agar suhu tetap terkendali, dari siklus ke siklus.
Inti dari alat ini adalah kemampuan reproduksinya yang tinggi. Emitter berbahan kuarsa-halogen memberikan respons yang cepat dan terkendali, dengan spektrum output yang akurat. Badan pemanas yang terbuat dari serat karbon membuatnya tetap kokoh meski dikenai beban termal yang tinggi. Kualitas panas di area aktif tetap stabil pada kisaran ±0,1°C, dan tingkat stabilitasnya tetap sama selama proses pemanasan atau pengeringan. Alat ini dapat beroperasi 24/7, tanpa menghasilkan partikel berbahaya di ruangan bersih kelas 1–100. Pemeriksaan kinerja alat dilakukan setiap 5.000 jam, dan setelah proses kalibrasi selesai, nilai Cpk tetap di atas 1,67.
Alat ini cocok digunakan dalam proses pembuatan paket IC tipe 2.5D/3D, karena alat ini mampu menghilangkan faktor suhu sebagai variabel yang mempengaruhi kualitas produk. Profil pemanasan photoresist tetap sesuai standar, proses pengisian TSV dan underfill juga berhasil mencapai titik transisi kaca yang diinginkan. Kelengkungan permukaan chip juga berkurang karena gradien termal dapat dikendalikan. Proses kalibrasi menjadi lebih singkat, jumlah limbah berkurang, dan konsumsi energi per satuan produk juga menurun berkat efisiensi pemanasan yang tinggi.
Pemasangan alat ini cukup mudah, tetapi perlu dipersiapkan interfasenya dengan baik. Pastikan ukuran alat pemanas sesuai dengan chuck dan alat-alat lainnya. Waktu yang diperlukan untuk kalibrasi penuh setelah pemasangan adalah sekitar 30 menit. Alat ini dapat berfungsi bersama kontroler 4–28 VDC standar serta instrumen SMbus/RS-485. Pastikan komposisi gas di ruangan bersih sudah sesuai; atmosfer yang kaya oksigen memerlukan bahan emitter khusus. Dengan kalibrasi yang tepat, proses produksi akan tetap terkendali.